[发明专利]静电吸盘、成膜装置、基板吸附/剥离方法、成膜方法以及电子设备的制造方法有效
| 申请号： | 201811008392.0 | 申请日： | 2018-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN109972083B | 公开（公告）日： | 2023-04-18 |
| 发明（设计）人： | 石井博 | 申请（专利权）人： | 佳能特机株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;C23C14/50;H10K71/00 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 朱龙 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的静电吸盘机构作为用于吸附并保持基板的静电吸盘机构，特征在于，包含静电吸盘板部和传感器部，所述静电吸盘板部具有吸附面，该吸附面形成有用于从所述基板的一端向另一端吸附所述基板的吸附区域，所述传感器部用于检测所述基板向所述静电吸盘板部的吸附面的吸附状态。 | ||
| 搜索关键词： | 静电 吸盘 装置 吸附 剥离 方法 以及 电子设备 制造 | ||
【主权项】：
1.一种静电吸盘机构，用于吸附并保持基板，其特征在于，具有：静电吸盘板部，所述静电吸盘板部具有吸附面，该吸附面形成有用于从所述基板的一端向另一端吸附所述基板的吸附区域；以及传感器部，所述传感器部用于检测所述基板向所述静电吸盘板部的吸附面的吸附状态。
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