[发明专利]一种碳化硅石墨载盘的激光清洗方法在审
| 申请号： | 201811009430.4 | 申请日： | 2018-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN109261647A | 公开（公告）日： | 2019-01-25 |
| 发明（设计）人： | 徐明升;杨彪 | 申请（专利权）人： | 融铨半导体（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | B08B7/00 | 分类号： | B08B7/00;B08B5/02 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 张俊范 |
| 地址： | 215500 江苏省苏州市常熟*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种碳化硅石墨载盘的激光清洗方法，包括固定待清洗的碳化硅石墨载盘；调整激光焦距至污染物表面并设定与污染物匹配的激光波长使所述污染物吸收所述激光；开启激光发射至污染物表面同时采用惰性气体风刀对激光照射区域吹扫。本发明方法不容易对碳化硅石墨载盘的基体产生损伤，无废液产生，绿色环保，清洗效率高，节省时间。 | ||
| 搜索关键词： | 石墨载盘 碳化硅 污染物表面 激光清洗 惰性气体风刀 激光照射区域 污染物吸收 激光波长 激光发射 激光焦距 绿色环保 清洗效率 吹扫 废液 匹配 清洗 污染物 激光 损伤 | ||
【主权项】：
1.一种碳化硅石墨载盘的激光清洗方法，其特征在于，包括固定待清洗的碳化硅石墨载盘；调整激光焦距至污染物表面并设定与污染物匹配的激光波长使所述污染物吸收所述激光；开启激光发射至污染物表面同时采用惰性气体风刀对激光照射区域吹扫。
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