[发明专利]超声波指纹传感器及其制备方法、应用在审
| 申请号： | 201811015334.0 | 申请日： | 2018-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN108985280A | 公开（公告）日： | 2018-12-11 |
| 发明（设计）人： | 汤威;熊伟;余维嘉;范为;刘斌;向宇;罗健飞 | 申请（专利权）人： | 东莞新科技术研究开发有限公司深圳分公司 |
| 主分类号： | G06K9/00 | 分类号： | G06K9/00 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 逯恒 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市福田区福田街道益*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种超声波指纹传感器及其制备方法、应用。制备方法为:在基材的上表面刻蚀出一个凹槽阵列，在所述基材的上表面涂布干膜或湿膜；在所述干膜或湿膜上制备通孔阵列，所述通孔阵列的分布与所述凹槽阵列一致，之后固化所述干膜或湿膜，形成牺牲层；在所述固化之后，向所述凹槽和所述通孔中注入压电陶瓷粉或压电陶瓷浆料，之后烧结成压电陶瓷体，形成压电陶瓷柱阵列；按照产品的要求，在所述压电陶瓷柱阵列的空隙中注入预设的高分子材料，并固化；之后去除基材，在所述压电陶瓷柱阵列的上下表面分别制作电极，得到产品。本发明的方法具有高产量、高良率以及适用范围广等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 制备 压电陶瓷柱 基材 湿膜 固化 指纹传感器 凹槽阵列 通孔阵列 超声波 上表面 干膜 高分子材料 压电陶瓷粉 压电陶瓷体 上下表面 涂布干膜 压电陶瓷 烧结 牺牲层 电极 浆料 刻蚀 良率 通孔 预设 去除 应用 制作 | ||
【主权项】：
1.超声波指纹传感器的制备方法，其特征在于，包括下列步骤:在基材的上表面刻蚀出一个凹槽阵列，在所述基材的上表面涂布干膜或湿膜；在所述干膜或湿膜上制备通孔阵列，所述通孔阵列的分布与所述凹槽阵列一致，之后固化所述干膜或湿膜，形成牺牲层；在所述固化之后，向所述凹槽和所述通孔中注入压电陶瓷粉或压电陶瓷浆料，之后烧结成压电陶瓷体，形成压电陶瓷柱阵列；按照产品的要求，在所述压电陶瓷柱阵列的空隙中注入预设的高分子材料，并固化；之后去除基材，在所述压电陶瓷柱阵列的上下表面分别制作电极，得到产品。
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