[发明专利]一种粒子成像方法在审
申请号: | 201811016533.3 | 申请日: | 2018-08-23 |
公开(公告)号: | CN109115660A | 公开(公告)日: | 2019-01-01 |
发明(设计)人: | 索奕双;郭强;其他发明人请求不公开姓名 | 申请(专利权)人: | 金华职业技术学院 |
主分类号: | G01N15/00 | 分类号: | G01N15/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 321017 *** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明涉及粒子成像领域,一种粒子成像方法,粒子成像装置主要包括团簇源、真空腔、分流器、离子透镜I、门阀I、离子透镜II、门阀II、质量过滤器、微通道盘I、屏蔽罩、基准电压管、速度成像电极组、微通道盘II、探测器、激光器I和真空泵组,团簇源包括储液池、流量控制器、进样管、气管、储气罐、保护腔、冷凝腔、加热器、样品腔、喷口和激光器II,采用气体聚集和激光蒸发结合的方法来生成掺杂的大分子团簇,团簇的尺寸较为均匀,且团簇中掺杂的计量精确可控,并能够对生成的团簇进行快速冷却,通过采用切换电极上电压的方法对团簇进行有效聚集,增加光反应强度,提高光反应效率。 | ||
搜索关键词: | 团簇 粒子成像 离子透镜 激光器 掺杂的 光反应 微通道 门阀 储气罐 加热器 大分子团簇 流量控制器 质量过滤器 基准电压 激光蒸发 快速冷却 气体聚集 速度成像 真空泵组 保护腔 储液池 电极组 分流器 进样管 冷凝腔 屏蔽罩 样品腔 真空腔 电极 探测器 可控 喷口 气管 计量 | ||
【主权项】:
1.一种粒子成像方法,粒子成像装置主要包括团簇源(1)、真空腔(2)、分流器(3)、离子透镜I(4)、门阀I(5)、离子透镜II(6)、门阀II(7)、质量过滤器(8)、微通道盘I(9)、屏蔽罩(10)、基准电压管(11)、速度成像电极组(12)、微通道盘II(13)、探测器(14)、激光器I(15)和真空泵组,xyz为三维空间坐标系,所述真空腔(2)具有起始端和末端,真空腔(2)起始端外侧连接团簇源(1),探测器(14)位于真空腔(2)末端外侧,能够探测微通道盘I(9)和微通道盘II(13)上产生的光信号,从真空腔(2)起始端到末端依次分为真空段I(2‑1)、真空段II(2‑2)、真空段III(2‑3)和真空段IV(2‑4),真空段I(2‑1)和真空段II(2‑2)通过分流器(3)连接,真空段II(2‑2)和真空段III(2‑3)通过门阀I(5)连接,真空段III(2‑3)和真空段IV(2‑4)通过门阀II(7)连接,所述真空段I(2‑1)、真空段II(2‑2)、真空段III(2‑3)和真空段IV(2‑4)均连接有真空泵组,离子透镜I(4)位于真空段II(2‑2)内,离子透镜II(6)位于真空段III(2‑3)内,质量过滤器(8)、微通道盘I(9)和屏蔽罩(10)依次位于真空段IV(2‑4)内,基准电压管(11)、速度成像电极组(12)和微通道盘II(13)依次位于屏蔽罩(10)内,所述分流器(3)、离子透镜I(4)、门阀I(5)、离子透镜II(6)、门阀II(7)、质量过滤器(8)、微通道盘I(9)、基准电压管(11)、速度成像电极组(12)和微通道盘II(13)组成了离子束流路径,微通道盘I(9)和微通道盘II(13)均能够移出或移入所述离子束流路径,激光器I(15)位于速度成像电极组(12)所在位置的真空腔(2)的外侧,真空腔(2)和屏蔽罩(10)均具有透光窗口,激光器I(15)发射的激光能够通过所述透光窗口进入速度成像电极组(12);团簇源(1)主要包括储液池(1‑1)、流量控制器(1‑2)、进样管(1‑3)、气管(1‑4)、储气罐(1‑5)、保护腔(1‑6)、冷凝腔(1‑7)、加热器(1‑8)、样品腔(1‑9)、喷口(1‑10)和激光器II(1‑11),所述保护腔(1‑6)连接于真空腔(2)起始端的真空段I(2‑1),所述冷凝腔(1‑7)位于保护腔(1‑6)内部,冷凝腔是长度为20厘米、内径为12厘米的圆筒形,所述冷凝腔(1‑7)具有双层腔壁,双层腔壁之间的空间能够通入液氮用于降温,冷凝腔(1‑7)连接有喷口(1‑10),所述样品腔(1‑9)位于冷凝腔(1‑7)内部,样品腔(1‑9)是长度为6厘米、内径为3.5厘米的圆筒形,样品腔(1‑9)具有外腔壁和内腔壁,所述内腔壁具有若干网孔,所述网孔直径为50微米,相邻网孔之间间隔为150微米,能够使得载气流更均匀地进入样品腔(1‑9),样品腔(1‑9)内放置有掺杂样品,样品腔(1‑9)具有出口,所述进样管(1‑3)一端通过流量控制器(1‑2)连接储液池(1‑1)、另一端依次穿过保护腔(1‑6)腔壁、冷凝腔(1‑7)腔壁和样品腔(1‑9)的外腔壁并连通于样品腔(1‑9)的外腔壁和内腔壁之间,储气罐(1‑5)通过气管(1‑4)连接于流量控制器(1‑2)和保护腔(1‑6)之间的进样管(1‑3)上,进样管(1‑3)与保护腔(1‑6)腔壁、冷凝腔(1‑7)腔壁和样品腔(1‑9)外腔壁的各连接处均具有气密性,位于冷凝腔(1‑7)中的部分进样管(1‑3)的外周具有加热器(1‑8);所述储液池(1‑1)中储存有待成簇样品,储液池(1‑1)温度能够在‑50至250摄氏度范围调节,所述储气罐(1‑5)中储存有载气,载气为氩气和氦气的混合气体,氩气和氦气的质量比为8∶92,使得能够在团簇形成的反应中具有较好的冷却效果,储气罐(1‑5)能够控制载气的流速,所述载气与进样管(1‑3)中的待成簇样品的蒸汽混合后,一并进入样品腔(1‑9)的外腔壁和内腔壁之间,能够通过样品腔(1‑9)内腔壁上的网孔进入样品腔(1‑9);所述保护腔(1‑6)、冷凝腔(1‑7)和样品腔(1‑9)均具有真空窗口,激光器II(1‑11)发射的激光能够通过各所述真空窗口进入样品腔(1‑9)以对掺杂样品进行融蒸,掺杂样品的蒸汽与待成簇样品的蒸汽在样品腔(1‑9)内充分混合后,在载气的作用下依次通过样品腔(1‑9)出口和喷口(1‑10)进入真空腔(2)的真空段I(2‑1);基准电压管(11)是长度为20毫米、内径为12毫米的圆筒形,由铜制成,基准电压管(11)具有入口和出口,基准电压管(11)的入口直径为1.5毫米、出口直径为1.0毫米,基准电压管(11)上的电势能够根据离子相对于基准电压管(11)的位置而切换,其特征是:所述一种粒子成像方法的步骤为:一.在冷凝腔(1‑7)的双层腔壁之间通入液氮降温;二.调节加热器(1‑8),使得样品腔(1‑9)温度保持在‑20到20摄氏度之间;三.调节储液池(1‑1)温度,使得储液池(1‑1)中的待成簇样品溶液产生蒸汽,调节流量控制器(1‑2),使得所述待成簇样品的蒸汽进入进样管(1‑3),流速典型值为50SCCM,开启储气罐(1‑5),使得载气通过气管(1‑4)进入进样管(1‑3),流速典型值为300SCCM;四.所述载气与进样管(1‑3)中的所述待成簇样品蒸汽混合后进入样品腔(1‑9)的外腔壁和内腔壁之间,并通过样品腔(1‑9)内腔壁上的网孔进入样品腔(1‑9),样品腔(1‑9)内气压典型值为100Pa;五.激光器II(1‑11)发射脉冲激光对样品腔(1‑9)中的掺杂样品进行融蒸,脉冲激光的功率典型值为2到10mJ;六.待成簇样品的蒸汽和掺杂样品的蒸汽发生成核反应,生成掺杂的大分子团簇,所述掺杂的大分子团簇在载气流的作用下,依次通过样品腔(1‑9)出口和喷口(1‑10)进入真空腔(2)的真空段I(2‑1);七.掺杂的大分子团簇在真空泵组的作用下,依次通过分流器(3)、离子透镜I(4)、门阀I(5)、离子透镜II(6)和门阀II(7),到达质量过滤器(8),并在质量过滤器(8)中进行荷质比选择,以使得所要研究的掺杂的大分子团簇通过质量过滤器(8);八.将微通道盘I(9)移入离子束流路径,将微通道盘II(13)移出离子束流路径,经过荷质比选择的掺杂的大分子团簇入射到微通道盘I(9),并在微通道盘I(9)的不同位置产生相应的光信号,微通道盘I(9)上产生的光信号能够通过基准电压管(11)和速度成像电极组(12)并进入探测器(14),从而得到光反应前掺杂的大分子团簇的相关特性的信息;九.将微通道盘I(9)移出离子束流路径,将微通道盘II(13)移入离子束流路径,当掺杂的大分子团簇进入基准电压管(11)的时刻,基准电压管(11)的电势为零,当掺杂的大分子团簇全部位于基准电压管(11)内时,基准电压管(11)的电势切换为与速度成像电极组(12)的反射电极的电势一致;十.掺杂的大分子团簇离开基准电压管(11)后,进入速度成像电极组(12),并被激光器I(15)发射的激光照射,从而发生光反应;十一.光反应产生的产物到达微通道盘II(13),并在微通道盘II(13)的不同位置产生相应的光信号;十二.探测器(14)收集微通道盘II(13)产生的光信号,从而得到光反应产物的相关特性的信息。
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