[发明专利]一种基片表面检测方法和设备有效
| 申请号： | 201811016795.X | 申请日： | 2018-09-03 |
| 公开（公告）号： | CN109211733B | 公开（公告）日： | 2021-04-06 |
| 发明（设计）人： | 陈子天;李文涛 | 申请（专利权）人： | 赛纳生物科技（北京）有限公司 |
| 主分类号： | G01N13/00 | 分类号： | G01N13/00 |
| 代理公司： | 北京万象新悦知识产权代理有限公司 11360 | 代理人： | 苏爱华 |
| 地址： | 102206 北京市大兴区北京经*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种基片表面检测方法和设备，利用基片同检测液体之间的接触线以及夹角的变化检测基片的均匀性。本发明提供一种基片表面检测方法和设备，其包括移动装置，第一容器，第一液体，液面探测装置；所述第一液体盛放在第一容器中；所述移动装置用于使基片与第一液体产生相对运动；所述液面探测装置用于探测液体与基片之间的夹角。这种方法可以用于检测基片表面的均匀性。本发明设备具有结构简单，造价低，检测速度快等特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 表面 检测 方法 设备 | ||
【主权项】：
1.一种基片表面检测方法，其特征在于，基片以一定的角度进入第一液体；通过基片与第一液体接触所产生的接触线，以及所产生夹角的均匀性检测基片表面的均匀性；所述第一液体在基片表面的接触角大于90度。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于赛纳生物科技（北京）有限公司，未经赛纳生物科技（北京）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201811016795.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
