[发明专利]一种基片表面检测设备和方法有效
| 申请号： | 201811016838.4 | 申请日： | 2018-09-03 |
| 公开（公告）号： | CN108955587B | 公开（公告）日： | 2020-07-03 |
| 发明（设计）人： | 陈子天;李文涛 | 申请（专利权）人： | 赛纳生物科技（北京）有限公司 |
| 主分类号： | G01B13/22 | 分类号： | G01B13/22 |
| 代理公司： | 北京万象新悦知识产权代理有限公司 11360 | 代理人： | 苏爱华 |
| 地址： | 102206 北京市大兴区北京经*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种基片表面检测设备和方法，利用基片同检测液体之间的接触线以及夹角的变化检测基片的均匀性。本发明提供一种基片表面检测设备，其包括移动装置，第一容器，第一液体，液面探测装置；所述第一液体盛放在第一容器中；所述移动装置用于使基片与第一液体产生相对运动；所述液面探测装置用于探测液体与基片之间的夹角。这种设备可以用于检测基片表面的均匀性。本发明设备具有结构简单，造价低，检测速度快等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 表面 检测 设备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种基片表面检测设备，其特征在于，包括移动装置，第一容器，第一液体，角度检测装置；所述第一液体盛放在第一容器中；所述移动装置用于使基片与第一液体产生相对运动；所述角度检测装置用于检测第一液体与基片之间的夹角以及接触线。
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