[发明专利]配件级低成本表面处理方法及一种装置有效
| 申请号： | 201811017678.5 | 申请日： | 2018-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN109192846B | 公开（公告）日： | 2020-09-15 |
| 发明（设计）人： | 李树琪;唐文婷;王保兴 | 申请（专利权）人： | 宁波天炬光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/58 | 分类号： | H01L33/58 |
| 代理公司： | 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 | 代理人： | 王锋;王茹 |
| 地址： | 315300 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种配件级低成本表面处理方法及一种装置。所述配件级低成本表面处理方法包括：提供基板层；在所述基板层上覆设有机物层；对所述有机物层进行离子轰击，从而在所述有机物层中形成微米级和/或亚微米级图形；将所述有机物层中的微米级和/或亚微米级图形转移到所述基板层表面，获得表面粗化的基板层。本发明实施例提供的一种配件级低成本表面处理方法工艺可控，在成本性价比以及使用应用场合(涵盖目前所有光电器件)上实现了全方位的保障和提升，同时器件完成后，在光的取出以及收取的均匀度上也能够得到相应的改善。 | ||
| 搜索关键词： | 配件 低成本 表面 处理 方法 一种 装置 | ||
【主权项】：
1.一种配件级低成本表面处理方法，其特征在于包括：提供基板层；在所述基板层上覆设有机物层；对所述有机物层进行离子轰击，从而在所述有机物层中形成微米级和/或亚微米级图形；将所述有机物层中的微米级和/或亚微米级图形转移到所述基板层表面，获得表面粗化的基板层。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于宁波天炬光电科技有限公司，未经宁波天炬光电科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201811017678.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
