[发明专利]蒸镀掩模装置的制造方法和蒸镀掩模装置的制造装置有效
| 申请号： | 201811019098.X | 申请日： | 2018-09-03 |
| 公开（公告）号： | CN109423604B | 公开（公告）日： | 2021-11-19 |
| 发明（设计）人： | 冈本英介 | 申请（专利权）人： | 大日本印刷株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 黄纶伟;于英慧 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 蒸镀掩模装置的制造方法和蒸镀掩模装置的制造装置。蒸镀掩模装置的制造方法具有：准备步骤，准备包含从第1面到第2面的多个贯通孔的蒸镀掩模；以及焊接步骤，在包含正面和与正面对置的背面的框架的正面上焊接蒸镀掩模。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸镀掩模 装置 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种蒸镀掩模装置的制造方法，具有：准备步骤，准备包含从第1面到第2面的多个贯通孔的蒸镀掩模；以及焊接步骤，在框架的正面上焊接所述蒸镀掩模，该框架包含所述正面和与所述正面对置的背面，所述蒸镀掩模具有构成一对端部的一对耳部，所述一对耳部分别包含焊接在所述框架的所述正面上的焊接部、以及位于所述焊接部与所述蒸镀掩模的所述端部之间的延伸部，所述焊接步骤具有以下步骤：对所述蒸镀掩模施加张力，使得所述焊接部的所述第2面与所述框架的所述正面接触，并且，所述延伸部的所述第2面的至少局部相比于所述框架的所述正面更靠所述框架的所述背面侧；以及在对所述蒸镀掩模施加了所述张力的状态下，使所述蒸镀掩模的所述焊接部与所述框架接合。
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