[发明专利]一种空心柱立体结构的图形加工方法

摘要

本发明公开了一种空心柱体立体结构的图形加工方法，该方法包括：步骤1，将柱体浸入到感光胶内，使柱体的表面形成感光胶层；步骤2，根据柱体的表面的曝光尺寸大小及希望得到的柱体的结构，用绘图软件绘制所需要的二维电子图形，计算将柱体的表面分割成若干子区域并确定每个子区域的曝光焦点，并形成待加工图形；步骤3，利用无掩模光刻技术，将待加工图形曝光在柱体的表面上；步骤4，对显影后的柱体的表面进行图形加法或是图形减法处理；步骤5，剥离柱体的表面的感光胶，得到连续的精细图形形成在柱体的表面。本发明提供的方法能够制作出严格同心或是同波纹或是严格图形步进重复的任意精密图形的结构件。

主权项

1.一种空心柱立体结构的图形加工方法，其特征在于，包括：步骤1，将柱体浸入到感光胶内，使所述柱体的表面形成厚度均匀的感光胶层；步骤2，根据所述柱体的表面的曝光尺寸大小及希望得到的柱体的结构，获得所需要的二维电子图形，并通过计算将所述柱体的表面分割成若干子区域并确定每个所述子区域的曝光焦点，并根据每个所述子区域的大小及位置将所述电子图形进行分割形成子图，最后将所述子图填充至相应的所述柱体上的对应的所述子区域，并形成待加工图形；步骤3，利用无掩模光刻技术，将所述待加工图形曝光在所述柱体的表面上，其具体包括：步骤31，对所述待加工图形的填充位置及倾斜角度进行修正，使所述待加工图形的位置与对应的所述柱体的表面上的实际位置一致，生成动态电子掩模；步骤32，根据每个所述子区域的曝光焦点，利用无掩模光刻技术按所述步骤31中生成的所述动态电子掩模，将所述待加工图形曝光在所述柱体的表面上，其中：在光刻过程中，所述柱体沿轴向以匀速或变速的方式旋转，且所述柱体旋转的速度和所述待加工图形曝光时提供的曝光图形的光点的光斑扫描速度保持一致，相邻的两次扫描光点之间实现图形的无缝衔接，所述柱体的表面上每个所述子区域的曝光图形在曝光过程中均处于所述曝光焦点的焦深范围以内，以保证多次曝光的图形的一致性和连续有效性以及图形最终的总长度和所需一致；和步骤33，利用显影方法，去除所述步骤32在所述柱体的表面上形成的曝光图形中的被曝光的部分，而留下被感光胶保护的部分；步骤4，对显影后的所述柱体的表面进行图形加法或是图形减法处理；步骤5，剥离所述柱体的表面的感光胶，得到连续的精细图形形成在所述柱体的表面。