[发明专利]偏置角可调中阶梯光栅效率测试仪的光路结构及测试方法

摘要

本发明涉及一种偏置角可调中阶梯光栅衍射效率测试仪的光路结构。该光路结构包括光源、前置光路、测量光路和探测系统；测量光路按光束的传播轨迹顺序包括中间狭缝、准直镜、待测元件、聚焦镜模块和出射狭缝；待测元件通过双层旋转平台安装在光路中，实现待测中阶梯光栅不同偏置角的设置，以及中阶梯光栅不同测试波长范围的扫描；聚焦镜模块处设置有刻度标尺，所述刻度标尺的刻度根据待测中阶梯光栅的偏置角设置，聚焦镜模块设置在与偏置角相对应的刻度标尺的刻度位置上。本发明实现中阶梯光栅真实工作状态下衍射效率的测试，能够更加准确的评价中阶梯光栅在光谱仪中的能量传输性能。

主权项

1.一种偏置角可调中阶梯光栅衍射效率测试仪的光路结构，包括光源(1)、前置光路(2)、测量光路(3)和探测系统(4)，所述光源(1)用于为中阶梯光栅衍射效率的测量提供连续的测试波长，所述前置光路(2)对光源(1)发出的光进行分光，用于为中阶梯光栅衍射效率的测量提供单色光，所述测量光路(3)用于实现中阶梯光栅衍射效率的测量，所述探测系统(4)用于接收从测量光路(3)出射的光电信号，其特征在于：所述测量光路(3)按光束的传播轨迹顺序包括中间狭缝(5)、准直镜(6)、待测元件、聚焦镜模块(10)和出射狭缝(11)；所述待测元件通过双层旋转平台(7)安装在光路中，待测元件为待测中阶梯光栅(8)或参考反射镜(9)；所述双层旋转平台(7)包括上层旋转台和下层旋转台，下层旋转台通过旋转实现待测中阶梯光栅(8)不同偏置角的设置，上层旋转台实现中阶梯光栅(8)不同测试波长范围的扫描；所述聚焦镜模块(10)处设置有刻度标尺(12)，所述刻度标尺(12)的刻度根据待测中阶梯光栅(8)的偏置角设置，所述聚焦镜模块(10)设置在与偏置角相对应的刻度标尺(12)的刻度位置上。