[发明专利]增强指纹检测灵敏度的平板天线检测装置及其检测方法

摘要

本发明公开了一种增强指纹检测灵敏度的平板天线检测装置及其检测方法。本发明包括基底和位于基底上表面的梳状平板天线阵列结构，选取待检测目标物质其中一项特征吸收频率f₀；设计平板天线结构时将平板天线结构一阶和三阶等离子体谐振之间谷的频率f处于吸收频率f₀；将周期性矩形槽阵列的平板天线结构置于基底上表面，形成梳状平板天线阵列结构；将待检测物质加载在平板天线阵列结构中，检测并记录待检测物质在平板天线结构内的太赫兹反射谱；通过分析太赫兹反射谱的反射率判断目标物质是否存在。本发明既能保持太赫兹光谱检测的指纹识别特性，又能大幅度提高检测灵敏度，同时实现微米量级厚度目标物质的识别和测量。

主权项

1.增强指纹检测灵敏度的平板天线检测装置，其特征在于包括基底和位于基底上表面的梳状平板天线阵列结构，设计用于检测的平板天线阵列结构；所述基底材料为介质硅材料；所述的平板天线阵列结构，由三个周期性的矩形槽构成；该平板天线阵列结构沿X、Y方向的周期分别为Px和Py；入射电磁波为Z方向，入射电磁波的电场偏振方向为Y方向；其中矩形槽阵列方向为X方向，矩形槽开口方向为Y方向，以平板天线阵列结构高度方向为Z方向；L为平板天线阵列结构的长度，W为平板天线阵列结构的宽度，H为矩形槽的深度，w为矩形槽的宽度，p为矩形槽阵列的一个周期，t为平板天线阵列结构的厚度，各参数关系如下：L＝3.5p,W＝1.2p,H＝p,w＝0.5p,Px＝4p,Py＝1.6p,p＝36.5μm and t＝0.3μm。