[发明专利]激光装置的漏水探测系统

摘要

本发明提供一种能够及早探测到激光装置内的微量漏水且使激光装置及早恢复原状的激光装置的漏水探测系统。漏水探测系统探测激光装置的漏水，激光装置具备用于输出激光的部件组、将部件组中的至少一部分冷却的水冷板、用于收纳部件组和水冷板的壳体及用于使壳体内的空气循环的空气循环部。空气循环部设置于发热性高的部件的附近，漏水探测系统具备：湿度检测部，其检测壳体内的湿度；多个温度检测部，其配置于水冷板的多个部位，用于检测各部位的温度；以及探测控制部，在从湿度检测部获取到的湿度超过基准湿度的情况下、或者从多个温度检测部获取到的多个温度中的至少一个温度超过相应部位的基准温度的情况下，所述探测控制部输出探测信息。

主权项

1.一种激光装置的漏水探测系统，探测激光装置中的漏水，所述激光装置具备用于输出激光的部件组、将所述部件组中的至少一部分部件冷却的水冷板、用于收纳所述部件组和所述水冷板的封闭型的壳体以及用于使所述壳体内的空气循环的空气循环部，在该激光装置的漏水探测系统中，所述空气循环部设置于所述部件组中的发热性高的部件的附近，所述激光装置的漏水探测系统具备：湿度检测部，其检测所述壳体内的湿度；多个温度检测部，所述多个温度检测部配置于所述水冷板的多个部位，分别检测各部位的温度；以及控制部，在从所述湿度检测部获取到的所述湿度超过基准湿度的情况下、或者从多个所述温度检测部获取到的多个所述温度中的至少一个温度超过相应部位的基准温度的情况下，所述控制部输出探测信息。