[发明专利]一种电压抑制器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种电压抑制器，其包括：第一导电类型的衬底，形成在衬底上第一导电类型的第一外延层，形成在第一外延层上第二导电类型的第二外延层，在第一外延层的上表面向下延伸至第一外延层内的第二导电类型的注入区，形成在第二外延层的上表面的介质层，在第二外延层的上表面向下穿过第二外延层且与注入区连接的两个第一绝缘层、设置在两个第一绝缘层之间的第一导电类型的第一埋层和第一导电类型的第二埋层。其还公开了上述电压抑制器的制备方法。其能进行双向保护，且器件面积小，成本低。

主权项

1.一种电压抑制器，其特征在于，其包括：第一导电类型的衬底，形成在所述衬底上第一导电类型的第一外延层，形成在所述第一外延层上第二导电类型的第二外延层，在所述第一外延层的上表面向下延伸至所述第一外延层内的第二导电类型的注入区，形成在所述第二外延层的上表面的介质层，在所述第二外延层的上表面向下穿过所述第二外延层且与所述注入区连接的两个第一绝缘层、设置在两个第一绝缘层之间的第一导电类型的第一埋层和第一导电类型的第二埋层，在所述第二外延层的上表面向下且延伸至所述第一埋层的第二导电类型且与所述第二外延层电连接的第三埋层、第二导电类型的第四埋层、第一导电类型且与所述第四埋层连接的第五埋层，间隔形成在所述介质层上表面的与所述第二埋层电连接第一金属层、与所述第四埋层和所述第五埋层均电连接的第二金属层，一端与所述第一外延层电连接、另一端与所述第二金属层电连接的第三金属层，形成在所述第一金属层上的第一电极，形成在所述衬底上的第二电极。