[发明专利]一种采用电容传感器反馈的快反镜系统精度补偿方法有效
| 申请号： | 201811028674.7 | 申请日： | 2018-09-05 |
| 公开（公告）号： | CN109116552B | 公开（公告）日： | 2020-12-25 |
| 发明（设计）人： | 贾静;张南生 | 申请（专利权）人： | 三英精控（天津）仪器设备有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08;G02B26/10;G05B13/02 |
| 代理公司： | 天津协众信创知识产权代理事务所(普通合伙) 12230 | 代理人： | 王力强 |
| 地址： | 301700 天津市武清区*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种采用电容传感器反馈的快反镜系统精度补偿方法，包括以下步骤：S1：测得电容传感器误差‑角度曲线Δθ‑θ；S2：测得电容传感器未经处理的测量值θx1和θy1；S3：系统的总摆角近似为：θ1＝0.85×(θx1+θy1)；S4：通过查表Δθ‑θ，得知θ1处于θaθa+1分隔区间，该区间两端的误差值为ΔθaΔθa+1；S5：传感器的矫正值Δθ1＝(θ1‑θa)/(θa+1‑θa)×Δθa+1+(θa+1‑θ1)/(θa+1‑θa)×Δθa。本发明很好地解决了压电偏摆镜在使用电容传感器时带来的正交耦合误差的问题，使得电容传感器在大行程压电偏摆镜上的应用成为可能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 采用 电容 传感器 反馈 快反 系统 精度 补偿 方法 | ||
【主权项】：
1.一种采用电容传感器反馈的快反镜系统精度补偿方法，其特征在于，包括以下步骤：S1：测得电容传感器误差‑角度曲线Δθ‑θ；S2：测得电容传感器未经处理的测量值θx1和θy1；S3：系统的总摆角近似为：θ1＝0.85×(θx1+θy1)；S4：通过查表Δθ‑θ，得知θ1处于θaθa+1分隔区间，该区间两端的误差值为ΔθaΔθa+1；S5：传感器的矫正值Δθ1＝(θ1‑θa)/(θa+1‑θa)×Δθa+1+(θa+1‑θ1)/(θa+1‑θa)×Δθa；S6：得到传感器的最终值。
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