[发明专利]一种串联压电驱动纳米定位平台有效
| 申请号： | 201811028712.9 | 申请日： | 2018-09-05 |
| 公开（公告）号： | CN109140148B | 公开（公告）日： | 2020-11-10 |
| 发明（设计）人： | 贾静;张莹 | 申请（专利权）人： | 三英精控（天津）仪器设备有限公司 |
| 主分类号： | G12B5/00 | 分类号： | G12B5/00;F16M11/04 |
| 代理公司： | 天津协众信创知识产权代理事务所(普通合伙) 12230 | 代理人： | 王力强 |
| 地址： | 301700 天津市武清区*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明公开了串联压电驱动纳米定位平台，安装在基座内的平台本体、安装在平台本体上的XY向运动平台和压电陶瓷驱动器，XY向运动平台分别通过X向柔性铰链与Y向柔性铰链装配在基座中，X向柔性铰链与Y向柔性铰链分别通过X向弹簧组件与Y向弹簧组件与平台本体连接；XY向运动平台内分别安装有用于检测该运动平台X向位移的X向传感器和用于检测该运动平台Y向位移的Y向传感器，X向传感器和Y向传感器读取的位移数据配合共同完成纳米定位平台的二自由度运动的检测与反馈；压电陶瓷驱动器分别镶嵌在X向柔性铰链与Y向柔性铰链上，用于驱动XY向运动平台的二维运动。本发明的有益效果是串联的柔性铰链位移耦合小、偏航小、线性度好、定位精度高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 串联 压电 驱动 纳米 定位 平台 | ||
【主权项】：
1.一种串联压电驱动纳米定位平台，包括基座、安装在基座内的平台本体(1)、安装在平台本体(1)上的XY向运动平台和压电陶瓷驱动器，其特征在于：所述XY向运动平台分别通过X向柔性铰链(8)与Y向柔性铰链(9)装配在所述基座中，所述X向柔性铰链(8)与Y向柔性铰链(9)分别通过X向弹簧组件(3)与Y向弹簧组件(5)与所述平台本体(1)连接；所述XY向运动平台内分别安装有用于检测该运动平台X向位移的X向传感器(6)和用于检测该运动平台Y向位移的Y向传感器(7)，所述X向传感器(6)和Y向传感器(7)读取的位移数据配合共同完成所述纳米定位平台的二自由度运动的检测与反馈；所述压电陶瓷驱动器分别镶嵌在X向柔性铰链(8)与Y向柔性铰链(9)上，用于驱动XY向运动平台的二维运动。
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