[发明专利]一种基于柔性基板弯曲条件下的MEMS V型梁结构力学分析方法有效
| 申请号： | 201811029816.1 | 申请日： | 2018-09-04 |
| 公开（公告）号： | CN109446544B | 公开（公告）日： | 2023-01-17 |
| 发明（设计）人： | 韩磊;于洋;刘星;陈柳宏;吴虹剑;徐粲然 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G06F30/20 | 分类号： | G06F30/20 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 楼高潮 |
| 地址： | 210096 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于柔性基板弯曲条件下的MEMS V型梁结构力学分析方法，主要采取两个步骤来处理柔性基板弯曲条件下的MEMS V型梁结构的弯曲特性建模，从而得到V型梁结构变形后对器件力学性能影响的解析模型。其一是建立基于MEMS V型梁结构与柔性基板双变形的形变耦合模型，其二是基于MEMS V型梁结构弯曲特性模型，获得V型梁结构/基板双变形的形变量。通过以上参数为基础，重建MEMS V型梁结构力学模型，分析弯曲变形对V型梁结构力学性能的影响。本发明提供了一种基于复杂环境空间，包含V型梁结构与柔性基板双变形模型的MEMS V型梁结构力学分析方法。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 柔性 弯曲 条件下 mems 结构 力学 分析 方法 | ||
【主权项】：
1.一种基于柔性基板弯曲条件下的MEMS V型梁结构力学分析方法，其特征在于：包括以下步骤：建立基于RF MEMS V型梁结构与柔性基板双变形的形变耦合模型；所述RF MEMSV型梁结构通过固支锚区与所述柔性基板相连接；基于所述形变耦合模型：所述柔性基板弯曲变形后，获取所述RF MEMS V型梁结构夹角变化量和中间推杆后退距离；基于所述柔性基板变形后的参数值，重建RF MEMS V型梁结构的力学特性模型；基于所述重建的RF MEMS V型梁结构的力学特性模型，获取柔性基板弯曲对RFMEMS V型梁结构力学特性的影响。
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