[发明专利]一种基于柔性基板弯曲条件下的RF MEMS静电驱动开关微波特性分析方法

摘要

本发明公开了一种基于柔性基板弯曲条件下的RF MEMS静电驱动开关微波特性分析方法，主要包括两个步骤：其一是建立基于RF MEMS静电驱动开关与柔性基板双变形的形变耦合模型，实现RF MEMS静电驱动开关与柔性基板之间关键结构参数变化量的提取。其二是基于RF MEMS静电驱动开关弯曲特性模型，获得RF MEMS静电驱动开关/基板双变形的形变量。通过以上参数为基础，重建RF MEMS静电驱动开关微波特性模型，分析弯曲变形对RF MEMS静电驱动开关微波特性的影响。本发明提供了一种基于复杂环境空间，包含RF MEMS静电驱动开关与柔性基板双变形模型的RF MEMS静电驱动开关微波特性分析方法。

主权项

1.一种基于柔性基板弯曲条件下的RF MEMS静电驱动开关微波特性分析方法，其特征在于：包括以下步骤：建立基于RF MEMS静电驱动开关与柔性基板双变形的形变耦合模型，所述RF MEMS静电驱动开关为双端固支梁结构或者悬臂梁，所述双端固支梁结构或者悬臂梁通过锚区与所述柔性基板相连接；基于所述形变耦合模型：所述柔性基板变形后，获取所述RF MEMS静电驱动开关膜桥至所述柔性基板的间距；基于所述柔性基板变形后的参数值，重建RF MEMS静电驱动开关的微波特性模型；基于所述重建的RF MEMS静电驱动开关的微波特性模型，获取柔性基板弯曲对RF MEMS静电驱动开关微波特性的影响。