[发明专利]多晶炉装置在审
| 申请号： | 201811030339.0 | 申请日： | 2018-09-05 |
| 公开（公告）号： | CN110453281A | 公开（公告）日： | 2019-11-15 |
| 发明（设计）人： | 杨佳颖;王若凡;江启宏;蔡亚陆 | 申请（专利权）人： | 友达晶材股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 11105 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 陈小雯<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;TW |
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| 摘要： | 本发明公开一种多晶炉装置，其包括炉体、隔热组件、熔融组件、热交换器、开合机构及多孔板。炉体具有冷却系统及多个加热器。隔热组件配置于炉体内且隔热组件具有开口。熔融组件配置于隔热组件内且熔融组件的底部对应开口。热交换器配置于底部。开合机构配置于隔热组件外且包括至少一挡板，至少一挡板适于开启或关闭，以暴露或隔绝开口。多孔板配置于热交换器与开合机构之间。 | ||
| 搜索关键词： | 隔热组件 开合机构 热交换器 熔融组件 配置 挡板 开口 多孔板 炉体 加热器 冷却系统 多晶炉 体内 暴露 | ||
【主权项】：
1.一种多晶炉装置，其特征在于，包括：/n炉体，具有冷却系统及至少一个加热器；/n隔热组件，配置于该炉体内且该隔热组件具有开口；/n熔融组件，配置于该隔热组件内，该熔融组件的底部对应该开口；/n热交换器，配置于该熔融组件的该底部；/n开合机构，配置于该隔热组件外且包括至少一挡板，该至少一挡板适于开启或关闭，以暴露或隔绝该开口；以及/n多孔板，配置于该热交换器与开合机构之间，/n其中，当该挡板开启并暴露该隔热组件的该开口时，该熔融组件所辐射的热量自该热交换器传递通过该多孔板，并到达该冷却系统。/n
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