[发明专利]一种三氯化硼的纯化方法及装置在审
申请号: | 201811032751.6 | 申请日: | 2018-09-05 |
公开(公告)号: | CN108821302A | 公开(公告)日: | 2018-11-16 |
发明(设计)人: | 雷海平;李相勳;张建长;吕其明;吴海峰 | 申请(专利权)人: | 欧中电子材料(重庆)有限公司 |
主分类号: | C01B35/06 | 分类号: | C01B35/06 |
代理公司: | 重庆中之信知识产权代理事务所(普通合伙) 50213 | 代理人: | 林祖锋 |
地址: | 401220 重庆市长*** | 国省代码: | 重庆;50 |
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摘要: | 本发明公开了一种三氯化硼的纯化方法,包括如下步骤:S1分解工段:将液相三氯化硼粗品通入碳酰氯分解器中,三氯化硼中的碳酰氯杂质在碳酰氯分解器内紫外光照射催化下进行光分解反应,碳酰氯分解器内的压力为反应4.5~5.5bar,反应温度为30~40℃,且在碳酰氯分解器的底部采用压力为5.5~6.5bar的惰性气体进行反吹;S2精馏工段:经S1工段处理后的三氯化硼从碳酰氯分解器底部通过压差被压入两级精馏工段依次除去三氯化硼粗品中的重组分和轻组分,获得三氯化硼产品;两级精馏工段中的一级精馏的操作压力为3~3.5bar,操作温度为43~53℃,二级精馏的操作压力为2.6~3.1bar,操作温度为6~50℃;本发明与现有技术相比,提高了三氯化硼的纯化纯度且降低了能耗。 | ||
搜索关键词: | 三氯化硼 碳酰氯 分解器 工段 精馏 操作压力 粗品 两级 紫外光照射 惰性气体 二级精馏 一级精馏 光分解 氯化硼 液相三 催化 反吹 压差 压入 能耗 分解 | ||
【主权项】:
1.一种三氯化硼的纯化方法,其特征在于,包括如下步骤:S1分解工段:将液相三氯化硼粗品通入碳酰氯分解器中,三氯化硼中的碳酰氯杂质在碳酰氯分解器内紫外光照射催化下进行光分解反应,碳酰氯分解器内的压力为反应4.5~5.5bar,反应温度为30~40℃,且在碳酰氯分解器的底部采用压力为5.5~6.5bar的惰性气体进行反吹;S2精馏工段:经S1工段处理后的三氯化硼从碳酰氯分解器底部通过压差被压入两级精馏工段依次除去三氯化硼粗品中的重组分和轻组分,获得三氯化硼产品;两级精馏工段中的一级精馏的操作压力为3~3.5bar,操作温度为43~53℃,二级精馏的操作压力为2.6~3.1bar,操作温度为6~50℃。
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