[发明专利]光学级石英晶体的电/电磁清洗方法在审
| 申请号： | 201811033245.9 | 申请日： | 2018-09-05 |
| 公开（公告）号： | CN108889726A | 公开（公告）日： | 2018-11-27 |
| 发明（设计）人： | 刘盛浦;蒋文山;郭兴忠;吴兰 | 申请（专利权）人： | 浙江博达光电有限公司 |
| 主分类号： | B08B6/00 | 分类号： | B08B6/00 |
| 代理公司： | 杭州中成专利事务所有限公司 33212 | 代理人： | 金祺 |
| 地址： | 311305 浙江省杭州市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光学级石英晶体的电/电磁清洗方法：在石英晶体的Z轴方向的上下两个表面分别蒸镀金属电极层，放置于高温加热炉中，通过电极对石英晶体沿Z轴加载电场，从而使杂质离子产生定向迁移作用。于垂直Z轴方向加以磁场，使已离子化的杂质受磁力推引，加速往Z轴方向移动。采用本发明的方法能显著降低石英晶体腐蚀隧道密度和钠离子质量分数。 | ||
| 搜索关键词： | 石英晶体 光学级 清洗 高温加热炉 金属电极层 电场 定向迁移 杂质离子 质量分数 磁力 离子化 钠离子 电极 加载 蒸镀 磁场 垂直 腐蚀 隧道 | ||
【主权项】：
1.光学级石英晶体的电/电磁清洗方法，其特征在于：在石英晶体的Z轴方向的上下两个表面分别蒸镀金属电极层，放置于高温加热炉中，通过电极对石英晶体沿Z轴加载电场，从而使杂质离子产生定向迁移作用。
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