[发明专利]多自由度样品杆有效
| 申请号： | 201811034050.6 | 申请日： | 2018-09-05 |
| 公开（公告）号： | CN109425627B | 公开（公告）日： | 2021-02-05 |
| 发明（设计）人： | 王宏涛;张奕志 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | G01N23/2204 | 分类号： | G01N23/2204;H01J37/20 |
| 代理公司： | 杭州橙知果专利代理事务所(特殊普通合伙) 33261 | 代理人： | 杜放 |
| 地址： | 310058 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 多自由度样品杆，样品杆上设有纳米定位器，纳米定位器包括驱动件，驱动件为压电陶瓷管，压电陶瓷管的呈中空的管体，压电陶瓷管一端与关节球固定，另一端安装于样品杆；压电陶瓷管具有内表面和外表面，压电陶瓷管的一个表面上设置多个导电区域组，每个导电区域组包括两个对称的导电区域，所有导电区域相互独立，每个导电区域有导电线；压电陶瓷管的另一个表面为整区域导电部。本发明具有具有X轴平移、Y轴平移和Z轴转动的三自由度，且在重复使用中性能稳定的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 自由度 样品 | ||
【主权项】：
1.多自由度样品杆，其特征在于：样品杆上设有纳米定位器，纳米定位器包括驱动件，驱动件为压电陶瓷管，压电陶瓷管的呈中空的管体，压电陶瓷管一端与关节球固定，另一端安装于样品杆；压电陶瓷管具有内表面和外表面，压电陶瓷管的一个表面上设置多个导电区域组，每个导电区域组包括两个对称的导电区域，所有导电区域相互独立，每个导电区域有导电线；压电陶瓷管的另一个表面为整区域导电部。
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