[发明专利]一种磨损率低的单晶硅棒清洗脱胶机构在审
申请号: | 201811035833.6 | 申请日: | 2018-09-06 |
公开(公告)号: | CN109174807A | 公开(公告)日: | 2019-01-11 |
发明(设计)人: | 邱小永 | 申请(专利权)人: | 浙江贝盛新材料科技有限公司 |
主分类号: | B08B3/12 | 分类号: | B08B3/12;B08B3/02;B08B1/02;B08B3/10 |
代理公司: | 杭州新源专利事务所(普通合伙) 33234 | 代理人: | 李大刚 |
地址: | 313009 浙江省*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明公开了一种磨损率低的单晶硅棒清洗脱胶机构,它包括箱体,箱体底部设置有超声波发生器;超声波发生器上方设置有隔板,隔板上设置有多个与超声波发生器连接的超声波换能器;隔板上方设置有清洗框,清洗框底端设有多个放置槽;清洗框和隔板之间设置有摩擦板,摩擦板顶端设置有滑道,清洗框底端设有滑轮;所述箱体的顶部设有滑轨,清洗框顶部连接有滑块;清洗框的顶端连接有顶盖,顶盖底端多排喷头,喷头上连接有带有调节阀的进水管;所述清洗框一侧设置有U型槽,箱体内侧壁上设置有卡块,卡块上连接有移动块;所述箱体上对应卡块的位置处设有水平的腰型孔。本发明不仅能够提高清洗效果,还具有单晶硅棒损耗较小和操作方便的优点。 | ||
搜索关键词: | 清洗框 隔板 超声波发生器 单晶硅棒 底端 卡块 顶盖 磨损率 摩擦板 脱胶 清洗 超声波换能器 喷头 箱体内侧壁 顶端连接 顶端设置 清洗效果 放置槽 进水管 位置处 腰型孔 移动块 滑轮 多排 滑道 滑轨 滑块 | ||
【主权项】:
1.一种磨损率低的单晶硅棒清洗脱胶机构,其特征在于:包括箱体(1),箱体(1)的底部设置有超声波发生器(2);超声波发生器(2)的上方设置有隔板(3),隔板(3)与箱体(1)内壁密封连接;隔板(3)上设置有多个超声波换能器(4),每个超声波换能器(4)均与超声波发生器(2)连接;隔板(3)上方设置有清洗框(5),清洗框(5)底端设有多个平行分布的放置槽(6);清洗框(5)和隔板(3)之间设置有摩擦板(7),摩擦板(7)顶端的两侧设置有滑道(8),清洗框(5)底端对应两侧滑道(8)的位置处均设有滑轮(9);所述箱体(1)的顶部的两侧均设有滑轨(10),清洗框(5)顶部的两侧对应滑轨(10)的位置处均固定连接有滑块(11);清洗框(5)的顶端连接有顶盖(12),顶盖(12)底端对应每个放置槽(6)上方的位置处均连接有多个成排的喷头(13);喷头(13)上连接有进水管(14),进水管(14)上连接有调节阀(15);所述清洗框(5)的一侧设置有开口朝下的U型槽(16),箱体(1)内侧壁上对应U型槽(16)的位置处设置有卡块(17);卡块(17)上连接有移动块(18),移动块(18)设置在箱体(1)外侧;所述箱体(1)上对应卡块(17)的位置处设有水平的腰型孔(19)。
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