[发明专利]一种在微米尺度下激光离焦量自动调节装置及其调节方法

摘要

本发明涉及原子发射光谱检测技术领域，特别涉及一种在微米尺度下激光离焦量自动调节装置及其调节方法。所述装置包括一激光笔，激光笔发射光束的中心轴上配置了一个光束整形系统和一块分束镜，分束镜与激光笔的光束夹角为45°，分束镜上下侧设有用于对样品表面形貌进行观察及对样品表面激光笔光斑进行探测的显微成像光学系统，显微成像光学系统的下方设有用于承载样品的三维载物台，显微成像光学系统和三维载物台均与控制主机电性连接。显微成像光学系统包括位于分束镜上下侧的CCD相机和显微物镜。本发明能利用CCD相机实时获取图像，实时判断，实时对激光离焦量进行校正，对于保证激光在样品上产生等离子体形貌的一致性具有重要意义。

主权项

1.一种在微米尺度下激光离焦量自动调节装置，其特征在于：包括一激光笔(1)，所述激光笔(1)发射光束的中心轴上配置了一个光束整形系统(2)和一块分束镜(3)，所述分束镜(3)与激光笔(1)的光束夹角为45o，所述分束镜(3)上下侧设有用于对样品表面形貌进行观察及对样品表面激光笔光斑进行探测的显微成像光学系统，所述显微成像光学系统的下方设有用于承载样品的三维载物台(7)，所述显微成像光学系统和三维载物台(7)均与控制主机电性连接。