[发明专利]一种抛光液加热装置在审
| 申请号： | 201811036282.5 | 申请日： | 2018-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN109015351A | 公开（公告）日： | 2018-12-18 |
| 发明（设计）人： | 汪条英 | 申请（专利权）人： | 汪条英 |
| 主分类号： | B24B41/00 | 分类号： | B24B41/00;F24H9/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 314011 浙江省嘉*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种加热装置，尤其是一种抛光液加热装置属于晶片抛光的技术领域。按照本发明提供的技术方案，所述抛光液加热装置，包括抛光液输送管；在所述抛光液输送管的末端设置用于对抛光液输送管内的抛光液进行加热的抛光液加热器，在抛光液输送管的管道出口处设置用于检测抛光液温度的抛光液温度检测器，所述抛光液温度检测器以及抛光液加热器均与加热控制器连接，所述加热控制器还与用于检测抛光环境温度的抛光环境温度检测器；本发明结构紧凑，能有效实现对晶片抛光过程的温度控制，提高晶片抛光的质量及速度，适应范围广，安全可靠。 | ||
| 搜索关键词： | 抛光液 加热装置 输送管 晶片抛光 加热器 加热控制器 温度检测器 抛光 环境温度检测器 管道出口处 有效实现 检测 加热 | ||
【主权项】：
1.一种抛光液加热装置，包括抛光液输送管；其特征是：在所述抛光液输送管的末端设置用于对抛光液输送管内的抛光液进行加热的抛光液加热器，在抛光液输送管的管道出口处设置用于检测抛光液温度的抛光液温度检测器，所述抛光液温度检测器以及抛光液加热器均与加热控制器连接，所述加热控制器还与用于检测抛光环境温度的抛光环境温度检测器；抛光环境温度检测器能向加热控制器抛光环境温度，抛光液温度检测器能向加热控制器传输抛光液输送管出口处的抛光液温度，加热控制器将抛光液温度、抛光环境温度与所述加热控制器内的抛光预置温度比较，并控制抛光液加热器的加热状态，直至使得抛光环境温度与抛光预置温度相一致。
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