[发明专利]版图的拆分方法与拆分系统有效
| 申请号： | 201811038230.1 | 申请日： | 2018-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN109188857B | 公开（公告）日： | 2022-02-01 |
| 发明（设计）人： | 马乐;韦亚一 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 韩建伟;谢湘宁 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请提供了一种版图的拆分方法与拆分系统。该拆分方法包括：将版图中的至少一部分按照预拆分规则进行多种预拆分，形成多种版图组；对不同的版图组进行仿真，得到各版图组的坏点总数；提取坏点总数最少的版图组对应的拆分规则，以对版图进行拆分。该拆分方法中，先进行预拆分，该拆分过程将版图按照多种方式拆分为多种版图组，然后，对各版图组进行仿真，得到各种版图组的坏点总数，最后，比较各版图组的坏点总数，提取坏点总数最少的版图组对应的拆分规则，以对所述版图进行拆分。该拆分方法中最终的拆分方案是坏点总数最少的拆分方案，这样能够保证拆分得到的掩模图形的成像效果相对较好。 | ||
| 搜索关键词： | 版图 拆分 方法 系统 | ||
【主权项】：
1.一种版图的拆分方法，其特征在于，所述拆分方法包括：将版图中的至少一部分按照预拆分规则进行多种预拆分，形成多种版图组；对不同的所述版图组进行仿真，得到各所述版图组的坏点总数；提取所述坏点总数最少的所述版图组对应的拆分规则，以对所述版图进行拆分。
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