[发明专利]一种悬臂型端面耦合器有效
| 申请号： | 201811039165.4 | 申请日： | 2018-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN109031518B | 公开（公告）日： | 2020-01-03 |
| 发明（设计）人： | 陈昌华;柏艳飞;仇超;甘甫烷 | 申请（专利权）人： | 南通赛勒光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B6/10 | 分类号： | G02B6/10;G02B6/12 |
| 代理公司： | 31272 上海申新律师事务所 | 代理人： | 俞涤炯 |
| 地址： | 226000 江苏省南通市苏通*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开一种悬臂型端面耦合器，包括：硅衬底，于硅衬底上刻蚀具有第一预设高度的沟槽；埋氧层，形成于硅衬底的上表面；埋氧层包括：平板层，平板层形成于硅衬底的上表面；脊型层，脊型层形成于平板层的上表面，并水平延伸出平板层；硅波导，硅波导形成于埋氧层中，位于脊型层的上方；氮化硅波导，氮化硅波导形成于埋氧层中，位于硅波导的上方。有益效果：采用脊型埋氧层，实现与单模光纤光场模斑匹配的端面耦合器，平板层作为该悬臂型端面耦合器的支撑结构，保证机械稳固性，可以充当折射率匹配液的功能，降低该悬臂型端面耦合器对折射率匹配液的依赖性，氮化硅波导作为中间过渡层，使得单模光纤的光场能够以较高的耦合效率进入硅波导中。 | ||
| 搜索关键词： | 端面耦合 埋氧层 平板层 硅波导 硅衬底 脊型 悬臂 氮化硅 上表面 折射率匹配液 波导 单模光纤光 中间过渡层 波导形成 单模光纤 支撑结构 耦合效率 稳固性 光场 刻蚀 模斑 预设 匹配 保证 | ||
【主权项】：
1.一种悬臂型端面耦合器，其特征在于，包括：/n一硅衬底，于所述硅衬底上刻蚀一具有第一预设高度的沟槽；/n一埋氧层，形成于所述硅衬底的上表面；所述埋氧层包括：/n一平板层，所述平板层形成于所述硅衬底的上表面；/n一脊型层，所述脊型层形成于所述平板层的上表面，并水平延伸出所述平板层；/n一硅波导，所述硅波导形成于所述埋氧层中，位于所述脊型层的上方；/n一氮化硅波导，所述氮化硅波导形成于所述埋氧层中，位于所述硅波导的上方。/n
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