[发明专利]一种光刻机小工件卡具的使用方法

摘要

本发明提供了一种光刻机小工件卡具的使用方法，其特征在于：操作步骤包含以下几步，第一步，放置卡具；第二步，选择光源发生器规格；第三步，工件对准固定；第四步，调节光刻位置；第五步，加工；第六步，加工复位；第七步，拆卸归位。本发明的有益效果是，发明的新型光刻机卡具的使用方法能够迅速放置使用或快速撤掉，使用比较灵活方便；发明克服了许多小型工件不能加工或者不方便加工的问题，降低了其加工的困难程度，实用性强，使用方便，操作简单。

主权项

1.一种光刻机小工件卡具的使用方法，使用的卡具由升降旋转功能装置、光点定位功能装置、固定功能装置三部分组成；其整体结构，从下往上分别是最底下的底座台，外空心柱和内部的内空心柱，最上面是透明材质的工件台；所述升降旋转功能装置是由内空心柱和外空心柱组成；内空心柱与外空心柱配合套在一起，内空心柱能够在外空心柱内受控制地上下移动和旋转；内空心柱的顶部与工件台的下底中间部位，能够连接固定或者拆开；内空心柱与工件台在连接状态下，内空心柱能够带动工件台一起转动和上下升降；外空心柱的底部环状端面加工有光滑的、耐摩擦材料；所述光点定位功能装置，是由安装固定在内空心柱的光源发生器、和光源发生器下部连接的定位光点发生器，以及安装在底座台上表面的感光坐标屏和显示屏组成；定位光点发生器能够将光源发生器产生的平行光自动聚焦到感光坐标屏上，产生细小的明亮的定位光点；每个定位光点发生器产生的定位光点的光强或波长不同，都标记有区分标识，并存储在感光坐标屏和显示屏主板内；每个定位光点发生器均安装有一个工件定位光点传输杆与工件台相连；工件定位光点传输杆内部装有玻璃光纤，能够将定位光点发生器聚焦产生的细小明亮的定位光点向上垂直传射到工件台；透明的工件台在每个工件定位光点传输杆的对应位置，均加工有对应的工件定位光点标识；定位光点发生器向下发光口的光路垂直于外空心柱空心的底部端面，能够无遮挡射出；外空心柱放在感光坐标屏的上表面上，能够在感光坐标屏的上表面上自由水平滑动；感光坐标屏的内部建有坐标系，感光坐标屏安装在底座台的上表面；底座台的正立面是底边向前突出的一个斜面，在斜面上安装有显示屏；显示屏能够将感光坐标屏感受到的不同的定位光点发生器产生的不同的定位光点，在感光坐标屏坐标系上的位置坐标全部显示出来；所述固定功能装置包括工件台的上表面对称固定安装的4条或4条以上的工件固定装置，以及底座台上的锁定支架；工件固定装置有弹性伸缩臂；工件通过弹性伸缩臂产生的弹力固定于工件台上；锁定支架中间加工有直径与外空心柱的外直径相配合一致的圆孔；锁定支架过中心圆孔的直径分为两半，两半合并在一起时，中心圆孔能够将外空心柱紧密抱住；锁定支架的大小尺寸大于工件台的尺寸；高度尺寸低于外空心柱外壁上加工的部件的位置高度；锁定支架的两半部分通过卡扣连接或强磁吸贴；其特征在于，使用方法包含如下步骤：（a）第一步，放置卡具；将底座台放置在光刻机发光器下的工作台上，找好水平后固定；（b）第二步，选择光源发生器规格；首先根据工件的大小、加工要求选择具有合适数量的定位光点发生器的光源发生器规格，将选好规格的光源发生器安装在内空心柱中，然后将内空心柱与工件台连接固定；（c）第三步，工件对准固定；将待加工的工件放在工件台上，并按照透明材质的工件台上表面的工件定位光点标识，选择工件上的特殊位置或加工前标记的位置，移动工件对准工件定位光点标识，然后通过工件固定装置固定在工件台上；（d）第四步，调节光刻位置；将以上准备好的工件台和内、外空心柱放置在底座台的感光坐标屏上，打开光刻机、感光坐标屏和光源发生器的电源；水平移动外空心柱到光刻机发光器指示灯下，安放锁定支架锁定水平位置；调节伸缩旋转装置：通过手动，将内空心柱沿高度定位槽在外空心柱内升降，确定好最佳高度，然后将外空心柱上的紧固装置锁紧，固定高度；或者，打开外空心柱上的电动开关，采用电动方式使内空心柱升降到使用所需的最佳高度，关闭电动开关锁定高度；（e）第五步，加工；首先存储底座台上显示屏显示的感光坐标屏的各个工件定位光点标识的水平坐标数据和高度数据，或者直接读取记录高度数据，然后，打开光刻机自动光刻模式，完成光刻工作；完成一步光刻加工程序后，需要光刻第二步加工程序时，再根据加工程序要求，调整或不调整加工的工件的位置；如果需要调整，重复第四、第五步骤；（f）第六步，加工复位；如果加工程序中，需要水平旋转工件，先松开锁定支架，手动旋转工件台，同时观察显示屏显示的坐标数据，使坐标变化到达旋转的角度；然后安放锁定支架锁定位置；注意旋转时，光源发生器的中心定位光点的位置坐标不能有变化；加工完成后，松开锁定支架，按存储的初始坐标位置，旋转工件台，同时观察显示屏显示的坐标数据复位到初始坐标数据；如果加工程序中，需要水平移动工件，操作与旋转复位类似；（g）第七步，加工完成后，按照开启顺序依次关闭全部电源，取下加工好的工件，松开锁定支架，拆卸工件台和内空心柱，以及光源发生器；最后，将以上部件和底座台、锁定支架放入专用卡具箱中。