[发明专利]制备氮化铝晶体的坩埚设备及方法有效
| 申请号： | 201811041982.3 | 申请日： | 2018-09-07 |
| 公开（公告）号： | CN109112634B | 公开（公告）日： | 2020-05-19 |
| 发明（设计）人： | 武红磊;覃佐燕;郑瑞生 | 申请（专利权）人： | 深圳大学 |
| 主分类号： | C30B29/40 | 分类号： | C30B29/40;C30B23/00 |
| 代理公司： | 深圳市恒申知识产权事务所(普通合伙) 44312 | 代理人： | 袁文英 |
| 地址： | 518060 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种制备氮化铝晶体的坩埚设备与方法，坩埚设备包括第一坩埚、第二坩埚及连接管，其中，第一坩埚的内部与第二坩埚的内部通过连接管连通，第一坩埚用于盛放氮化铝源，第二坩埚用于盛放镓源，且连接管在第一坩埚内部的延伸长度大于所述第一坩埚中盛放的氮化铝源的厚度。相较于现有技术而言，本发明第二坩埚内的镓源生成的镓蒸汽可以进入到第一坩埚的反应腔内，由于镓蒸汽能够改变氮化铝晶体的结晶特性，有助于控制氮化铝晶体的成核与扩径生长，因此，在制备氮化铝晶体的过程中，通过向第一坩埚的反应腔内掺杂镓蒸汽，不仅可以有效的降低氮化铝晶体的成核密度，还可以扩大氮化铝晶体的尺寸，从而得到大尺寸的氮化铝体单晶。 | ||
| 搜索关键词： | 制备 氮化 晶体 坩埚 设备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种制备氮化铝晶体的坩埚设备，其特征在于，所述坩埚设备包括第一坩埚、第二坩埚及连接管，所述第一坩埚的内部与所述第二坩埚的内部通过所述连接管连通；所述第一坩埚用于盛放氮化铝源，所述第二坩埚用于盛放镓源，且所述连接管在所述第一坩埚内部的延伸长度大于所述第一坩埚中盛放的氮化铝源的厚度。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳大学，未经深圳大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201811041982.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
