[发明专利]液体喷射头及其制造方法、液体喷射装置以及压电器件有效
| 申请号： | 201811043113.4 | 申请日： | 2018-09-07 |
| 公开（公告）号： | CN109484032B | 公开（公告）日： | 2020-07-28 |
| 发明（设计）人： | 矢崎士郎 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | B41J2/14 | 分类号： | B41J2/14;B41J2/16;B41J2/01;H01L41/09 |
| 代理公司： | 北京金信知识产权代理有限公司 11225 | 代理人： | 苏萌萌;权太白 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供液体喷射头及其制造方法、液体喷射装置以及压电器件。液体喷射头具备：流道形成基板(10)，其形成有第一液体供给室(13)；振动板(50)，其被设置于流道形成基板的一面侧；压电元件(300)，其被形成于振动板上；第一过滤器(16)，其被设置于流道形成基板的一面侧，且形成有与第一液体供给室连通的多个第一液体供给口(15)；保护基板(30)，其被设置于流道形成基板的一面侧，且设置有经由第一液体供给口而与第一液体供给室连通的第二液体供给室(31)及第二过滤器(34)，其被设置于与第一过滤器相比靠上游侧，且设置有多个第二液体供给口(35)，第二液体供给口的内径为第一液体供给口的内径以上。 | ||
| 搜索关键词： | 液体 喷射 及其 制造 方法 装置 以及 压电 器件 | ||
【主权项】：
1.一种液体喷射头，其特征在于，具备：喷嘴，其对液体进行喷射；流道形成基板，其形成有与所述喷嘴连通的压力产生室以及与所述压力产生室连通的第一液体供给室；振动板，其被设置于所述流道形成基板的一面侧；压电元件，其被形成于所述振动板的与所述压力产生室相对应的位置；第一过滤器，其被设置于所述流道形成基板的所述一面侧，且形成有与所述第一液体供给室连通的多个第一液体供给口；保护基板，其被设置于所述流道形成基板的所述一面侧，且设置有经由所述第一液体供给口而与所述第一液体供给室连通的第二液体供给室；以及第二过滤器，其被设置于与所述第一过滤器相比靠上游侧，且设置有多个第二液体供给口，所述第二液体供给口的内径为所述第一液体供给口的内径以上。
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