[发明专利]金刚石涂层的制备方法及其制得的金刚石涂层、刀具有效
申请号: | 201811044751.8 | 申请日: | 2018-09-07 |
公开(公告)号: | CN110885968B | 公开(公告)日: | 2022-06-21 |
发明(设计)人: | 唐永炳;王陶;黄磊;李星星;张文军;李振声 | 申请(专利权)人: | 深圳先进技术研究院 |
主分类号: | C23C16/27 | 分类号: | C23C16/27;C23C16/02 |
代理公司: | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人: | 吴乃壮 |
地址: | 518000 广东省深圳*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明公开了一种金刚石涂层的制备方法及其制得的金刚石涂层、刀具,涉及金刚石薄膜技术领域。金刚石涂层的制备方法包括以下步骤:用纳米金刚石悬浮液在表面带正/负电荷的基体上进行植晶,并通过热丝化学气相沉积法生长金刚石,得到金刚石涂层;纳米金刚石悬浮液中纳米金刚石颗粒的带电性与基体表面所带电荷相反。本发明利用静电吸附植晶方式,使分散在溶液中的纳米金刚石颗粒吸附在基体结构件上,通过该方式能大大提高纳米金刚石颗粒在基体上的吸附密度,在基体表面高密度形核,生长后的金刚石涂层附着力强、使用寿命长,涂层粗糙度低、精度高。沉积该涂层的刀具切削寿命久、加工精度高。 | ||
搜索关键词: | 金刚石 涂层 制备 方法 及其 刀具 | ||
【主权项】:
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的