[发明专利]一种掺氮的铝钪合金靶材及其制造方法有效
| 申请号： | 201811048555.8 | 申请日： | 2018-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN109161858B | 公开（公告）日： | 2020-08-07 |
| 发明（设计）人： | 丁照崇;王兴权;张晓娜;何金江;李勇军;雷继锋;庞欣;贺昕 | 申请（专利权）人： | 有研新材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/35;C23C14/14 |
| 代理公司： | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 | 代理人： | 朱琨 |
| 地址： | 100088 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： |
本发明公开了属于磁控溅射靶材制造技术领域的一种掺氮的铝钪合金靶材及其制造方法。铝氮钪合金靶材化学成分为(AlxSc |
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| 搜索关键词： | 一种 合金 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种掺氮的铝钪合金靶材，其特征在于，所述铝氮钪合金靶材的化学成分为(AlxSc(1‑x))(1‑y)(AlN)y，其中以AlN形式对铝钪合金进行掺氮，Al原子含量x为0～1，AlN质量含量y为0.1～99.9％。
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