[发明专利]驱动电路、用于驱动MEMS陀螺仪的方法和对应的MEMS陀螺仪有效

专利信息
申请号: 201811050424.3 申请日: 2018-09-10
公开(公告)号: CN109506639B 公开(公告)日: 2023-01-31
发明(设计)人: S·法奇内蒂 申请(专利权)人: 意法半导体股份有限公司
主分类号: G01C19/5649 分类号: G01C19/5649;G01C19/5656
代理公司: 北京市金杜律师事务所 11256 代理人: 王茂华;李春辉
地址: 意大利阿格*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 本公开涉及驱动电路、用于驱动MEMS陀螺仪的方法和对应的MEMS陀螺仪。提供了一种用于基于科里奥利效应操作的微机电系统(MEMS)陀螺仪的驱动电路。驱动电路向MEMS陀螺仪的移动质量块提供驱动信号,以使移动质量块的驱动运动以振荡频率振荡。驱动电路包括:输入级,其接收表示驱动运动的至少一个电学量,并基于电学量产生驱动信号;测量级,其基于驱动信号测量驱动运动的振荡幅度;以及控制级,其基于振荡幅度的反馈控制产生驱动信号。测量级执行在其期间驱动信号与幅度阈值具有给定关系的时间间隔的测量,并测量作为时间间隔的函数的振荡幅度。
搜索关键词: 驱动 电路 用于 mems 陀螺仪 方法 对应
【主权项】:
1.一种用于微机电系统(MEMS)陀螺仪的驱动电路,包括:输入级,被配置为接收指示所述MEMS陀螺仪的移动质量块的驱动运动的至少一个电学量,并基于所述电学量产生至少一个驱动信号;测量级,被配置为确定时间间隔的持续时间,在所述时间间隔内,所述驱动信号满足与幅度阈值的给定关系,并且所述测量级被配置为基于所述时间间隔的所述持续时间确定所述驱动运动的振荡幅度;以及控制级,被配置为接收所述振荡幅度,基于所述振荡幅度产生用于所述MEMS陀螺仪的移动质量块的驱动信号,并且将所述驱动信号提供给所述MEMS陀螺仪的所述移动质量块,以使所述驱动运动处于振荡频率。
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