[发明专利]一种超快响应的柔性应变传感器及其制备方法有效
| 申请号： | 201811050618.3 | 申请日： | 2018-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN109163654B | 公开（公告）日： | 2020-09-08 |
| 发明（设计）人： | 杨婷婷;徐炜;代刚;李小石;杜亦佳 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院电子工程研究所 |
| 主分类号： | G01B7/16 | 分类号： | G01B7/16 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 刘奇 |
| 地址： | 621000*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种超快响应的柔性应变传感器及其制备方法。本发明首先对柔性基底表面进行改性处理和拉伸处理，然后将功能化石墨烯分散液涂覆在经拉伸处理的柔性基底表面，形成功能化石墨烯薄膜；再通过还原处理，形成石墨烯敏感层；然后涂刷导电银胶并粘结导线，得到超快响应的柔性应变传感器。本发明通过柔性基底进行改性和拉伸处理，使得基底对应力/应变波的传递都更加敏感；本发明所述功能化石墨烯分散液的分散溶剂为NMP，NMP溶剂沸点较高，蒸发缓慢，因此咖啡环效应明显，石墨烯晶片形成渐变的堆叠结构，进一步优化了石墨烯敏感层的传感性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 响应 柔性 应变 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种超快响应的柔性应变传感器的制备方法，包括以下步骤：(1)对柔性基底表面进行改性处理，然后对得到的改性柔性基底进行拉伸处理，在所述改性柔性基底表面形成贯通的长裂纹；(2)将功能化石墨烯分散液涂覆在所述步骤(1)经拉伸处理的柔性基底表面，形成功能化石墨烯薄膜；所述功能化石墨烯分散液的分散溶剂为N‑甲基吡咯烷酮；(3)对所述功能化石墨烯薄膜进行还原处理，形成石墨烯敏感层；(4)在所述石墨烯敏感层两侧涂刷导电银胶并粘结导线，得到超快响应的柔性应变传感器；所述超快响应的柔性应变传感器的响应时间为50μs～500μs。
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