[发明专利]一种超快绿光激光透明材料的加工方法及装置在审
| 申请号： | 201811052728.3 | 申请日： | 2018-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN109079348A | 公开（公告）日： | 2018-12-25 |
| 发明（设计）人： | 蒋仕彬 | 申请（专利权）人： | 杭州银湖激光科技有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/402 | 分类号： | B23K26/402;B23K26/06;B23K26/064;B23K26/082;B23K26/04 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 陶海锋 |
| 地址： | 311400 浙江省杭州市富阳区银*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种超快绿光激光透明材料的加工方法及装置，提供一波长在1020纳米～1090纳米之间的光纤激光器，采用光纤放大器进行能量放大，其特征在于：再进行光学倍频，获得绿光激光脉冲串，每一脉冲串里包括至少两个激光脉冲，脉冲宽度小于200ps，脉冲的峰值功率大于100kW，脉冲串内的相邻激光脉冲间的时间小于90ns,脉冲串间的间隔时间大于240ns，每秒的总脉冲数大于50000个；激光器输出的超快激光束只采用光纤放大器进行能量放大；将绿光激光束聚焦至待加工透明材料的下表面，按设定轨迹进行加工并逐步升高聚焦点，由下至上实现对透明材料的加工。本发明能大大提高材料去除效率，不需要加热或酸侵的后续工序，也不会产生斜角。 | ||
| 搜索关键词： | 透明材料 脉冲串 绿光激光 脉冲 加工方法及装置 光纤放大器 能量放大 加工 光纤激光器 激光束聚焦 材料去除 峰值功率 后续工序 激光脉冲 相邻激光 总脉冲数 激光器 激光束 聚焦点 下表面 波长 倍频 绿光 斜角 加热 升高 输出 | ||
【主权项】：
1. 一种超快绿光激光透明材料的加工方法，提供一波长在1020纳米～1090纳米之间的光纤激光器作为种子激光器，将种子激光器输出的激光束采用光纤放大器进行能量放大，其特征在于：再进行光学倍频，获得绿光输出，输出的绿光激光束形成激光脉冲串，每一激光脉冲串里包括至少两个激光脉冲，每一所述激光脉冲的脉冲宽度小于200ps，脉冲的峰值功率大于100kW，脉冲串内的相邻激光脉冲间的时间小于90ns, 脉冲串间的间隔时间大于240ns，每一秒的总脉冲数大于50000个；其中，激光器输出的超快激光束只采用光纤放大器进行能量放大；将上述绿光激光脉冲串聚焦到透明材料的待加工位置，通过移动聚焦位置，实现对透明材料的加工；加工时，将绿光激光束聚焦至待加工透明材料的下表面，按设定轨迹进行加工并逐步升高聚焦点，由下至上实现对透明材料的加工。
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