[发明专利]一种厚度一致性检测装置有效
| 申请号： | 201811053626.3 | 申请日： | 2018-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN109000571B | 公开（公告）日： | 2021-05-14 |
| 发明（设计）人： | 李杰;陈林;杨杰;乔丽 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 610209 *** | 国省代码： | 四川;51 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种厚度一致性检测装置，包括：光谱共焦位移传感器、传感器调整单元、工件转台、悬臂转台、悬臂转台调整单元、工件台、悬臂、配重、主控制器组成。本发明检测装置可用于大口径、高精度材料厚度一致性的测量和分析。本发明结构简单、紧凑且稳定，工程易实现；通过使用气浮回转轴系执行运动功能，大幅度降低动态测量时的震动，从而可实现快速、精确的测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 厚度 一致性 检测 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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