[发明专利]位移传感器有效
| 申请号： | 201811056644.7 | 申请日： | 2018-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN109506570B | 公开（公告）日： | 2020-11-10 |
| 发明（设计）人： | 千田直道;节田和纪;西田和史;胜山纯 | 申请（专利权）人： | 横河电机株式会社 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02;G02B27/09 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 何立波;张天舒 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 位移传感器具有将线状的光线射出的线状光源、光束分离器、线传感器和成像透镜。所述线状光源相对于所述成像透镜的光轴的垂线具有规定角度的倾斜度而配置。所述成像透镜在与所述线状光源共轭的位置使所述线状光源的像相对于所述成像透镜的光轴的垂线具有规定角度的倾斜度而形成。所述光束分离器配置于所述线状光源和所述成像透镜之间。所述线传感器经由所述成像透镜和所述光束分离器，在与通过所述成像透镜形成的像共轭的位置，配置为所述成像透镜的光轴相对于由所述光束分离器反射出的光轴的垂线具有所述规定角度的倾斜度。 | ||
| 搜索关键词： | 位移 传感器 | ||
【主权项】：
1.一种位移传感器，其对测定对象物的位移进行检测，该位移传感器具有将线状的光线射出的线状光源、光束分离器、线传感器和成像透镜，所述线状光源相对于所述成像透镜的光轴的垂线具有规定角度的倾斜度而配置，所述成像透镜在与所述线状光源共轭的位置使所述线状光源的像相对于所述成像透镜的光轴的垂线具有规定角度的倾斜度而形成，所述光束分离器配置于所述线状光源和所述成像透镜之间，所述线传感器经由所述成像透镜和所述光束分离器，在与通过所述成像透镜形成的像共轭的位置，配置为使所述成像透镜的光轴相对于由所述光束分离器反射出的光轴的垂线具有所述规定角度的倾斜度。
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