[发明专利]离子植入机有效
| 申请号： | 201811056894.0 | 申请日： | 2018-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN109192646B | 公开（公告）日： | 2020-12-08 |
| 发明（设计）人： | 田成俊;洪纪伦;吴宗祐;林宗贤 | 申请（专利权）人： | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 上海立群专利代理事务所(普通合伙) 31291 | 代理人： | 杨楷;毛立群 |
| 地址： | 223300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体设备制造技术领域，公开了一种离子植入机，其中离子植入机包括：离子源结构，离子源结构所采用的离子源为电感耦合等离子体源；分析磁体，与离子源结构连接，能够接收离子源结构提供的植入离子束，并分离得到植入离子束；价态转换装置，与分析磁体连接，能够接收从分析磁体出射的植入离子束，并对植入离子束中离子的价态进行转化。本发明提供的离子植入机的离子源结构通过电感耦合等离子技术形成需要植入的等离子体。由于在离子源结构的整个工作过程中不需要金属器件参与，因此从源头减少了金属离子的产生。并且通过价态转换装置能够对植入离子束中的离子的价态进行转化，从而提高离子植入机的适用性。 | ||
| 搜索关键词： | 离子 植入 | ||
【主权项】：
1.一种离子植入机，其特征在于，包括：离子源结构，所述离子源结构所采用的离子源为电感耦合等离子体源；分析磁体，与所述离子源结构连接，能够接收所述离子源结构提供的离子束，并分离得到植入离子束；价态转换装置，与所述分析磁体连接，能够接收从所述分析磁体出射的所述植入离子束，并对所述植入离子束中离子的价态进行转化。
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