[发明专利]固体前驱体蒸汽的稳压和纯化装置以及ALD沉积设备

摘要

本发明的实施例提供一种固体前驱体蒸汽的稳压和纯化装置，包括：壳体，壳体内部形成封闭的处理空间；壳体设有与处理空间相通的进气口和排气口；以及，多个匀流部件，多个匀流部件设置在壳体内部并且沿着竖直方向依次排列，将处理空间分隔成从下至上依次排列的多个子空间；匀流部件设有通孔，相邻的子空间通过通孔连通；其中，进气口与位于最下部的子空间连通；排气口与位于最上部的子空间连通。还提供了一种ALD沉积设备。该稳压和纯化装置可以提高低蒸汽压力前驱体的蒸汽的稳定性，并且降低前驱体固体颗粒对传输管路、腔室和产品的污染。