[发明专利]双腔组合光干涉声传感器探头及其传感系统

摘要

一种双腔组合光干涉声传感器探头及其传感系统，包括相邻的传振腔室和检振腔室，传振腔室包括第一膜片和第二膜片，并通过第二膜片与检振腔室隔离，该第二膜片的反光面朝向检振腔室，并与检振腔室的下内表面形成FP干涉腔，当外部入射光透过检振腔室的下腔体在该下内表面同时产生反射光和透射光或同时产生反射衍射光和透射衍射光，该透射光或透射衍射光被反光面的中心区域反射而沿原路返回，与该反射光或反射衍射光重叠产生光干涉信号，第一膜片感应声信号产生的振动传递至第二膜片，引起FP干涉腔的腔长变化，进而引起光干涉信号的变化，由光电探测器接收并检测该光干涉信号。本发明能有效提高探头灵敏度和信噪比，改善探头温度、机械稳定性。

主权项

1.一种双腔组合光干涉声传感器探头，包括传振腔室和检振腔室，其特征在于：传振腔室，包括：第一端口和第二端口，且第一端口的尺寸大于第二端口；第一膜片，绷紧设置于所述第一端口上；以及第二膜片，绷紧设置于所述第二端口上，所述第二膜片具有一反光面，朝向所述检振腔室；检振腔室，与所述传振腔室相邻，并由所述第二膜片与所述传振腔室隔离，所述检振腔室包括下腔体和下内表面，所述下腔体对入射光透明，所述下内表面位于下腔体上，能使从检振腔室外的入射光透过下腔体在所述下内表面处同时产生透射光和反射光或同时产生透射衍射光和反射衍射光，所述透射光或透射衍射光被所述反光面的中心区域反射而沿原路返回并透过所述下内表面后，与所述反射光或反射衍射光重叠从而产生光干涉信号，所述下内表面与所述反光面形成一FP干涉腔；其中，所述第一膜片通过感应声信号而产生的振动，通过所述传振腔室传递至第二膜片而引起所述FP干涉腔的腔长变化，对所述光干涉信号进行调制。