[发明专利]倾斜光纤光栅表面超结构增强表面等离子共振氢敏传感器在审
| 申请号： | 201811059808.1 | 申请日： | 2018-09-12 |
| 公开（公告）号： | CN109060728A | 公开（公告）日： | 2018-12-21 |
| 发明（设计）人： | 沈常宇;金梦;宫佳琦 | 申请（专利权）人： | 中国计量大学 |
| 主分类号： | G01N21/552 | 分类号： | G01N21/552 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 310018 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了倾斜光纤光栅表面超结构增强表面等离子共振氢敏传感器，由ASE宽带光源、偏振控制器、单模光纤、气室底座、进气口、出气口、Pd/Au薄膜光纤氢气传感器、光谱分析仪和气室屏障组成；其中Pd/Au薄膜光纤氢气传感器表面镀有Au纳米薄膜以及Pd纳米薄膜，纤芯刻有倾斜的布拉格光栅。用化学液相还原法制备Au、Pd纳米粒子。用分子自组装（SAMs）技术和化学镀膜法实现Au、Pd纳米薄膜在石英基底上的可控生长。膜内倾斜的布拉格光栅使光可以从纤芯耦合到由光纤包层引导的大量高阶模式中，导致辐射模耦合增强。在1.5%‑4%氢气浓度范围内，有良好的线性响应特性，且氢气浓度每变化1%，光谱幅值变化量为0.005dB，具有较好的灵敏性与分辨率。 | ||
| 搜索关键词： | 纳米薄膜 表面等离子共振 倾斜光纤光栅 布拉格光栅 氢敏传感器 氢气传感器 氢气 超结构 纤芯 薄膜 进气口 光纤 化学液相还原法 线性响应特性 分子自组装 幅值变化量 光谱分析仪 化学镀膜法 偏振控制器 单模光纤 高阶模式 光纤包层 可控生长 宽带光源 纳米粒子 屏障组成 气室底座 耦合增强 表面镀 出气口 辐射模 灵敏性 内倾斜 引导的 耦合到 分辨率 基底 石英 光谱 制备 | ||
【主权项】：
1.倾斜光纤光栅表面超结构增强表面等离子共振氢敏传感器，其特征在于：由ASE宽带光源（1）、偏振控制器（2）、单模光纤（3）、气室底座（4）、进气口（5）、出气口（6）、Pd/Au薄膜光纤氢气传感器（7）、光谱分析仪（8）和气室屏障（9）组成；其中Pd/Au薄膜光纤氢气传感器（7）表面镀有Au纳米薄膜（10）以及Pd纳米薄膜（11），Au纳米薄膜（10）厚度为20nm，Au纳米薄膜（10）表面被刻蚀成等边三角形金块超结构阵列用于激发强表面等离子共振；等边三角形金块的厚度为10纳米，等边三角形金块边长为10纳米，等边三角形金块中心之间的间距为20纳米；Pd纳米薄膜（11）厚度范围为5‑100nm；Pd/Au薄膜光纤氢气传感器（7）的纤芯刻有倾斜的布拉格光栅（12），倾斜的布拉格光栅（12）长度为10mm，光栅周期为556.6nm，倾斜角度为4°，偏振控制器（2）左端与ASE宽带光源（1）连接，右端与单模光纤（3）左端连接，Pd/Au薄膜光纤氢气传感器（7）右端与光谱分析仪（8）连接。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国计量大学，未经中国计量大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201811059808.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
