[发明专利]一种晶圆加工用切面抛光装置

摘要

本发明涉及晶圆加工附属装置的技术领域，特别是涉及一种晶圆加工用切面抛光装置，提高对晶圆的固定效果，从而提高对晶圆切面抛光的效果，提高实用性；并且一次固定即可完成晶切面的抛光，提高工作效率；同时降低安全隐患；包括工作台、左支板、右支板、顶板、气缸、安装板、伸缩杆、两组电机、两组转轴、第一抛光轮和第二抛光轮；还包括转盘、旋转支柱、固定装置和第一滚珠轴承，固定装置包括第一支板、第二支板、第三支板、支撑板、两组推杆、两组支撑弹簧、螺纹管、螺纹杆和第二滚珠轴承，第一支板前端的左侧和右侧均设置有固定槽，两组固定槽分别位于两组推杆的正后方，并且两组固定槽分别位于第一抛光轮和第二抛光轮的正下方。

主权项

1.一种晶圆加工用切面抛光装置，包括工作台；其特征在于，还包括左支板（2）、右支板（3）、顶板（4）、气缸（5）和安装板（6），所述左支板（2）和右支板（3）的顶端分别与顶板（4）底端的左侧和右侧连接，左支板（2）和右支板（3）的底端分别与工作台（1）顶端的左侧和右侧连接，所述气缸（5）安装在顶板（4）的顶端，并在气缸（5）的底部输出端设置有伸缩杆（7），所述伸缩杆（7）的底端自顶板（4）的顶端穿过顶板（4）并与安装板（6）的顶端连接，所述安装板（6）的顶端安装有两组电机（8），并在两组电机（8）的底部输出端均设置有转轴（9），所述两组转轴（9）的底端自安装板（6）的顶端分别穿过安装板（6）至安装板（6）的下方，并在两组转轴（9）的底端分别设置有第一抛光轮（10）和第二抛光轮；还包括转盘（11）、旋转支柱（12）和固定装置，所述工作台（1）的顶端设置有安装槽，所述安装槽内固定安装有第一滚珠轴承（13），所述旋转支柱（12）的底端自工作台（1）的顶端插入至第一滚珠轴承（13）内部，旋转支柱（12）的顶端与转盘（11）的底端中部固定连接，所述固定装置包括第一支板（14）、第二支板（15）、第三支板（16）、支撑板（17）、两组推杆（18）、两组支撑弹簧（19）、螺纹管（20）和螺纹杆（21），所述第一支板（14）、第二支板（15）和第三支板（16）均安装在转盘（11）的顶端，并且第一支板（14）、第二支板（15）和第三支板（16）从后向前依次设置，并在第三支板（16）的中部设置有安装通孔，所述安装通孔内固定安装有第二滚珠轴承（22），所述螺纹管（20）的后端自第三支板（16）的前端穿过第二滚珠轴承（22）至第三支板（16）的后方，所述螺纹杆（21）的后端与支撑板（17）的前端中部铰接，螺纹杆（21）的前端插入并螺装至螺纹管（20）的后端内部，所述第二支板（15）的左部分和右部分均设置有前后贯通的穿孔，所述两组推杆（18）的前端分别穿过两组支撑弹簧（19）并分别与支撑板（17）的左端和右端铰接，两组推杆（18）的后端自第二支板（15）的前端分别穿过两组穿孔至第二支板（15）的后方，所述两组支撑弹簧（19）的前端分别与支撑板（17）后端的左侧和右侧连接，两组支撑弹簧（19）的后端分别与第二支板（15）前端的左侧和右侧连接，所述第一支板（14）前端的左侧和右侧均设置有固定槽（23），所述两组固定槽（23）分别位于两组推杆（18）的正后方，并且两组固定槽（23）分别位于第一抛光轮（10）和第二抛光轮的正下方。