[发明专利]一种晶圆流片用切割装置

摘要

本发明涉及晶圆流片生产附属装置的技术领域，特别是涉及一种晶圆流片用切割装置，其无需工作人员手按材料进行固定，提高安全效果；同时增强材料切割时的固定效果，提高使用可靠性；且方便后续对工作台上遗留的粉屑进行清洁，提高使用性；包括工作台、切割机和底座，切割机输出端上设置有切刀；还包括第一辅助件、第一调节件、第一压板、第二辅助件、第二调节件和第二压板，第一调节件设置在左滑块顶端，第二辅助件输出端与第二调节件连接；还包括第二固定件和三组第一固定件，第二固定件设置在第二压板上；还包括放置板和两组提手，工作台顶端设置有安置槽，放置板设置在安置槽内部，两组提手分别设置在放置板左右两端上。

主权项

1.一种晶圆流片用切割装置，包括工作台（1）、切割机（2）和底座（3），工作台设置在底座顶端，切割机设置在工作台顶端右半区域上，并在切割机输出端上设置有切刀（4）；其特征在于，还包括第一辅助件、第一调节件（5）、第一压板（6）、第二辅助件（7）、第二调节件和第二压板，底座顶端左前区域和左后区域上均设置有左滑槽，并在左滑槽内设置有左滑块（8），第一调节件设置在左滑块顶端，第一辅助件设置在底座上，且第一辅助件输出端与第一调节件连接，第一压板位于工作台上方，且切割机位于第一压板右侧，第一调节件与第一压板连接，底座顶端右前区域和右后区域上均设置有右滑槽，并在右滑槽内设置有右滑块（9），第二调节件设置在右滑块顶端，第二辅助件设置在底座上，且第二辅助件输出端与第二调节件连接，第二压板位于工作台上方，且切割机位于第二压板左侧，第二调节件与第二压板连接；还包括第二固定件（10）和三组第一固定件，第二固定件设置在第二压板上，并在第二压板底端左半区域上设置有第二放置槽，且第二固定件输出端位于第二放置槽内，三组第一固定件分别设置在第一压板左半区域、右半区域和中部上，并在第一压板底端左半区域、右半区域和中部处均设置有第一放置槽，且三组第一固定件输出端分别位于三组第一放置槽内；还包括放置板（11）和两组提手（12），工作台顶端设置有安置槽，放置板设置在安置槽内部，两组提手分别设置在放置板左右两端上。