[发明专利]一种芯片加工用刻蚀装置

摘要

本发明涉及电子芯片加工附属装置的技术领域，特别是涉及一种芯片加工用刻蚀装置，方便对芯片进行安装和取放，避免工人被刻蚀液腐蚀，提高安全性；并且节省刻蚀用时，提高工作效率；同时可以保证掩模与芯片之间紧密贴合，避免刻蚀液进入掩模和芯片之间的缝隙，提高芯片刻蚀品质；包括箱体、基板和掩模，箱体的内部设置有工作腔，并在工作腔内装有刻蚀液，箱体的顶端设置有取放口，基板的顶端设置有固定槽，掩模上设置有模孔；还包括工作台、左支板、右支板、顶板、两组第一气缸、第二气缸、四组连接杆、四组限位杆、连接板、四组压紧弹簧、第一伸缩杆、第二伸缩杆、加热棒、温度显示器、搅拌电机、减速机、温度传感器、转轴和搅拌叶。

主权项

1.一种芯片加工用刻蚀装置，包括箱体（1）、基板（2）和掩模（3），箱体（1）的内部设置有工作腔，并在工作腔内装有刻蚀液，箱体（1）的顶端设置有取放口，基板（2）的顶端设置有固定槽（4），掩模（3）上设置有模孔（5）；其特征在于，还包括工作台（6）、左支板（7）、右支板（8）、顶板（9）、两组第一气缸（10）、第二气缸（11）、四组连接杆（12）、四组限位杆（13）、连接板（14）和四组压紧弹簧（15），所述箱体（1）安装在工作台（6）顶端，并在箱体（1）的取放口处设置有盖板（16），所述左支板（7）和右支板（8）的底端分别与工作台（6）顶端的左侧和右侧连接，左支板（7）和右支板（8）的顶端分别与顶板（9）底端的左侧和右侧连接，所述两组第一气缸（10）分别安装在顶板（9）顶端的左侧和右侧，并在两组第一气缸（10）的底部输出端均设置有第一伸缩杆（17），所述两组第一伸缩杆（17）的底端自顶板（9）的顶端穿过顶板（9）至顶板（9）的下方并分别与盖板（16）顶端的左侧和右侧连接，所述四组连接杆（12）的顶端分别与盖板（16）底端的左前侧、右前侧、左后侧和右后侧连接，四组连接杆（12）的底端分别与基板（2）顶端的左前侧、右前侧、左后侧和右后侧连接，所述第二气缸（11）安装在盖板（16）的顶端中部，并在第二气缸（11）的底部输出端设置有第二伸缩杆（18），所述第二伸缩杆（18）的底端自盖板（16）的顶端穿过盖板（16）至盖板（16）的下方并与连接板（14）的顶端中部连接，所述连接板（14）的左前端、右前端、左后端和右后端均设置有上下贯通的穿孔，所述四组限位杆（13）的顶端自连接板（14）的底端分别穿过四组穿孔至连接板（14）的上方，并在四组限位杆（13）的顶端均设置有限位板（19），四组限位杆（13）的底端分别穿过四组压紧弹簧（15）并分别与掩模（3）顶端的左前侧、右前侧、左后侧和右后侧连接，所述掩模（3）位于固定槽（4）的正上方；还包括多组加热棒（20）、温度显示器（21）、搅拌电机（22）和减速机（23），所述多组加热棒（20）均匀安装在工作腔的左侧壁和右侧壁上，并在工作腔的侧壁上设置有温度传感器（24），所述温度显示器（21）安装在箱体（1）的左端，所述温度传感器（24）和温度显示器（21）电连接，所述搅拌电机（22）和减速机（23）均安装在工作台（6）的底端，并且减速机（23）位于搅拌电机（22）的顶部输出端，并在减速机（23）的顶部输出端设置有转轴，所述转轴的顶端自工作台（6）的底端穿过工作台（6）和箱体（1）底壁伸入至工作腔内，并在转轴上设置有搅拌叶（25），所述搅拌叶（25）位于工作腔内。