[发明专利]偏振光探测器及偏振光的探测方法在审
| 申请号： | 201811061706.3 | 申请日： | 2018-09-12 |
| 公开（公告）号： | CN109459137A | 公开（公告）日： | 2019-03-12 |
| 发明（设计）人： | 张晗;王子谦;王慧德;郭志男 | 申请（专利权）人： | 深圳大学 |
| 主分类号： | G01J4/04 | 分类号： | G01J4/04;H01L31/032;H01L31/113;H01L31/18 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝传鑫;熊永强 |
| 地址： | 518000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种偏振光的探测方法，包括：提供一种偏振光探测系统，其包括偏振光探测器，偏振光探测器包括基底、依次设置在基底表面上的隔离层和光敏材料层、以及设置在光敏材料层相对的两端且分别与光敏材料层接触的源极和漏极，源极和漏极之间形成的沟道结构暴露出部分光敏材料层，光敏材料层的材料包括β‑InSe纳米薄片；将一待测偏振光照射到光敏材料层的表面；光敏材料层吸收待测光并进行光电转换，使偏振光探测器产生相应的电流结果；利用电流结果分析得到待测偏振光的偏振信息。本发明提供的探测方法利用β‑InSe纳米薄片具有各向异性的特点，可直接拾取光偏振信息，不需要用到额外的偏振片。本发明还提供了一种偏振光探测器。 | ||
| 搜索关键词： | 偏振光 光敏材料层 探测器 探测 纳米薄片 漏极 源极 偏振光照射 沟道结构 光电转换 基底表面 结果分析 偏振信息 探测系统 依次设置 隔离层 光偏振 偏振片 测光 基底 拾取 暴露 吸收 | ||
【主权项】：
1.一种偏振光的探测方法，其特征在于，包括以下步骤：提供一种偏振光探测系统，其包括偏振光探测器，所述偏振光探测器包括基底、依次设置在所述基底表面上的隔离层和光敏材料层、以及设置在所述光敏材料层相对的两端且分别与所述光敏材料层接触的源极和漏极，所述源极和所述漏极之间形成的沟道结构暴露出部分所述光敏材料层，所述光敏材料层的材料包括β‑InSe纳米薄片；将一待测偏振光照射到所述光敏材料层的表面；所述光敏材料层吸收所述待测光并进行光电转换，使所述偏振光探测器产生相应的电流结果；利用所述电流结果分析得到所述待测偏振光的偏振信息。
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