[发明专利]大口径光栅衍射效率光谱及其均匀性的测量装置和方法在审
| 申请号： | 201811061995.7 | 申请日： | 2018-09-12 |
| 公开（公告）号： | CN109186945A | 公开（公告）日： | 2019-01-11 |
| 发明（设计）人： | 夏志林;朱宇;邵建达;刘世杰;王圣浩 | 申请（专利权）人： | 武汉理工大学 |
| 主分类号： | G01M11/00 | 分类号： | G01M11/00 |
| 代理公司： | 湖北武汉永嘉专利代理有限公司 42102 | 代理人： | 唐万荣;孙方旭 |
| 地址： | 430070 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明设计了一种大口径光栅衍射效率光谱及其均匀性的测量装置和方法，该装置中包括激光光源、光阑、偏振片、分束器、参考光探测器、二维扫描机构、聚焦透镜、积分球和测试光探测器，沿激光传播方向依次设置光阑、偏振片和分束器，分束器将入射光束分为参考光束和测试光束，参考光束照射在参考光探测器上，测试光束照射在待测光栅上，经过该衍射光栅衍射后，入射到聚焦透镜，经聚焦透镜聚焦后射入积分球，漫反射光被测试光探测器接收。本发明装置及方法可以对大口径光栅的衍射效率光谱及其均匀性进行准确的测量，同时可以在较短的时间内完成测量，并且本发明构建的测量系统具有结构紧凑，造价成本低的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 大口径光栅 聚焦透镜 衍射效率 分束器 均匀性 光谱 参考光探测器 参考光束 测量装置 测试光束 测试光 积分球 偏振片 探测器 光阑 照射 测量 二维扫描机构 激光传播方向 光栅 测量系统 激光光源 漫反射光 入射光束 衍射光栅 依次设置 造价成本 构建 入射 射入 衍射 聚焦 | ||
【主权项】：
1.一种大口径光栅衍射效率光谱及其均匀性的测量装置，其特征在于，包括激光光源、光阑、偏振片、分束器、参考光探测器、聚焦透镜、积分球和测试光探测器，沿激光传播方向依次设置光阑、偏振片和分束器，分束器将入射光束分为参考光束和测试光束，参考光束照射在参考光探测器上，测试光束照射在待测光栅上，经过该衍射光栅衍射后，入射到聚焦透镜，经聚焦透镜聚焦后射入积分球，漫反射光被测试光探测器接收。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于武汉理工大学，未经武汉理工大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201811061995.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
