[发明专利]一种温度自补偿、宽量程的柔性无线无源声表面波压强传感器在审
| 申请号： | 201811063005.3 | 申请日： | 2018-09-12 |
| 公开（公告）号： | CN109163842A | 公开（公告）日： | 2019-01-08 |
| 发明（设计）人： | 董树荣;许红升;轩伟鹏;陈金凯;骆季奎 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | G01L9/08 | 分类号： | G01L9/08;G01L19/04 |
| 代理公司： | 杭州天勤知识产权代理有限公司 33224 | 代理人： | 曹兆霞 |
| 地址： | 310013 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种温度自补偿、宽量程的柔性无线无源声表面波压强传感器，包括作为压电层的铌酸锂单晶压电薄膜；形成在所述铌酸锂单晶压电薄膜上的至少一个声表面波传感单元，每个声表面波传感单元包括形成在所述铌酸锂单晶压电薄膜上的单端谐振器、与所述单端谐振器电气连接的微带天线；覆盖在所述铌酸锂单晶压电薄膜上的密闭盖，所述密闭盖与所述铌酸锂单晶压电薄膜形成密闭腔体。该柔性无线无源声表面波压强传感器以铌酸锂单晶压电薄膜作为压电层，使得其具有宽量程，能够检测0～4MPa范围内的压强，还具有温度自补偿功能，有利于提高柔性无线无源声表面波压强传感器的精度。 | ||
| 搜索关键词： | 铌酸锂单晶 声表面波 压电薄膜 压强传感器 无线无源 温度自补偿 宽量程 传感单元 密闭盖 谐振器 压电层 单端 压强 电气连接 密闭腔体 微带天线 检测 覆盖 | ||
【主权项】：
1.一种温度自补偿、宽量程的柔性无线无源声表面波压强传感器，其特征在于：包括：作为压电层的铌酸锂单晶压电薄膜；形成在所述铌酸锂单晶压电薄膜上的声表面波传感单元，每个声表面波传感单元包括形成在所述铌酸锂单晶压电薄膜上的单端谐振器、与所述单端谐振器电气连接的微带天线；覆盖在所述铌酸锂单晶压电薄膜上的密闭盖，所述密闭盖与所述铌酸锂单晶压电薄膜形成密闭腔体。
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