[发明专利]一种真空互联的表面分析装置及其使用方法

摘要

本发明涉及一种用于实现超高真空条件下(2x10‑10mbar)互联的表面分析装置及其使用方法，以及用于表面分析装置的样品台。用于表面分析装置的样品台包括了：(1)程序升温夹持板：承接样品托，实现样品从低温端到高温端(100K～1000K)线性可控升温(3～4K/s)；(2)变温杆：对接样品托夹持板，通过液氮给样品台的降温；(3)样品托：适用于0.5mm～1.5mm厚度的单晶样品，对样品进行直流加热，兼容扫描隧道显微镜成像样品托要求；(4)高温夹持板：通过辐射、加热电子束加热或者直流加热方式对一般样品托进行升温。本发明适用于程序升温脱附仪与扫描隧道显微镜的真空互联系统，得到模型催化剂的形貌信息以及吸附分子的谱学、反应活性信息，在原子尺度上实现催化剂的结构与活性的关联。