[发明专利]双光频梳测厚光路结构、系统、方法、装置及存储介质在审
| 申请号： | 201811064599.X | 申请日： | 2018-09-12 |
| 公开（公告）号： | CN109238153A | 公开（公告）日： | 2019-01-18 |
| 发明（设计）人： | 余浩洋;马茹玉;倪凯;吴冠豪;周倩;李星辉;王晓浩 | 申请（专利权）人： | 清华大学深圳研究生院 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06;G01B11/14 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 洪铭福 |
| 地址： | 518000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种双光频梳测厚光路结构、系统、方法、装置及存储介质。本发明通过利用信号光频梳作为测量臂光路的光源，并利用本振光频梳与两组测量光脉冲进行多外差干涉，通过测量干涉信号的相位时延，计算出待测物体厚度，克服了传统迈克尔逊干涉仪存在的无法对待测表面之间的绝对距离进行测量的技术问题，实现了一种有利于高精度、高实时性的光学表面距离测量双光频梳测厚光路结构、系统、方法、装置及存储介质。本发明可广泛应用于平行表面距离的测量。 | ||
| 搜索关键词： | 存储介质 光路结构 测厚 双光 测量 迈克尔逊干涉仪 待测物体 干涉信号 高实时性 光学表面 距离测量 绝对距离 平行表面 外差干涉 相位时延 本振光 测量臂 测量光 信号光 脉冲 光路 两组 光源 应用 | ||
【主权项】：
1.一种双光频梳测厚光路结构，其特征在于，包括本振光光路结构、测量臂光路结构和合光光路结构；所述本振光光路结构用于接收本振光频梳，并将本振光频梳处理后输出到合光光路结构；所述测量臂光路结构用于接收信号光频梳，并将信号光频梳处理后分别经过待测物体的两个表面反射形成测量光，再将测量光输出到合光光路结构；所述合光光路结构用于分别接收所述本振光光路结构和所述测量臂光路结构输出的光信号，并将所述本振光光路结构和所述测量臂光路结构输出的测量光叠加成干涉信号输出。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于清华大学深圳研究生院，未经清华大学深圳研究生院许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201811064599.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：在线白光干涉测厚仪
- 下一篇：一种基于激光定标测距的连铸钢包壁厚测量方法
