[发明专利]一种硅片加工过程中的高稳定夹持装置

摘要

本发明提供了一种硅片加工过程中的高稳定夹持装置，包括升降气缸，升降气缸内配合安装有活塞，活塞中部配合安装有传动套，传动套的中部设有传动杆，传动杆的上端和下端分别连接有上压板和下压板，上压板和传动套之间设有上弹簧，下压板与传动套之间设有下弹簧，下压板的底面中部设有抵杆，抵杆的下端安装有抽气吸盘，下压板的底面对称设有两推杆，推杆下端连接有摆杆，摆杆上还转动连接有连杆，连杆的上端转动连接有固定杆。与现有技术相比，本发明的有益效果在于：整体结构新颖，不仅可稳定夹持硅片，还能防止由于加持力度过大而导致的硅片损坏的情况发生，市场前景广阔。

主权项

1.一种硅片加工过程中的高稳定夹持装置，设置在机械臂的端部，其特征在于：包括升降气缸（1），所述升降气缸（1）为竖直设置的圆桶状结构，其下端开口，所述升降气缸（1）内配合安装有活塞（2），所述活塞（2）中部配合安装有传动套（3），所述传动套（3）的中部沿升降气缸（1）的轴线方向开设有通孔，所述通孔内配合安装有传动杆（4），所述传动杆（4）贯穿传动套，其上端和下端分别连接有水平设置的上压板（5）和下压板（6），所述上压板（5）和下压板（6）均可上下滑动的设置在升降气缸（1）的内腔中，所述上压板（5）和传动套（3）之间设有上弹簧（7），所述上弹簧（7）套设在传动杆（4）外，且其上下两端分别与上压板（5）底部以及传动套（3）上端相抵，所述下压板（6）与传动套（3）之间设有下弹簧（8），所述下弹簧（8）的上下两端分别与传动套（3）下端以及下压板（6）顶部相抵，所述下压板（6）的底面中部设有竖直设置的抵杆（9），所述抵杆（9）的下端配合安装有抽气吸盘（10），所述下压板（6）的底面还对称设有两竖直设置的推杆（11），所述推杆（11）的上端与下压板（6）固定连接，下端连接有摆杆（12），所述摆杆（12）的一端与推杆（11）的下端转动连接，另一端设有竖直设置的夹持柱（13），摆杆（12）上还转动连接有连杆（14），所述连杆（14）的下端与摆杆（12）转动连接，上端转动连接有固定杆（15），所述固定杆（15）的一端与连杆（14）的上端转动连接，另一端与升降气缸（1）的外壁固定连接，所述夹持柱（13）的下端内侧设有夹持块（16），所述夹持块（16）的内侧开设有弧形凹槽。