[发明专利]带电粒子束描绘装置及消隐电路的故障诊断方法有效
| 申请号： | 201811066688.8 | 申请日： | 2018-09-13 |
| 公开（公告）号： | CN109491211B | 公开（公告）日： | 2021-02-09 |
| 发明（设计）人： | 中山贵仁 | 申请（专利权）人： | 纽富来科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01J37/302;H01J37/317 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 徐殿军 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明关于带电粒子束描绘装置及消隐电路的故障诊断方法。实施方式所得的带电粒子束描绘装置具备：放出部，放出带电粒子束；消隐偏转器，通过消隐电压的施加而偏转上述带电粒子束，进行束流的消隐控制；消隐电路，对上述消隐偏转器施加上述消隐电压；平台，载置被上述带电粒子束所照射的基板；标记物，设于上述平台上；检测器，通过上述带电粒子束对上述标记物的照射，检测上述带电粒子束的照射位置；诊断部，比较第1照射位置和第2照射位置间的差分，在该差分在规定值以上的情况下，诊断为上述消隐电路已发生故障，上述第1照射位置和上述第2位置是由上述检测器检测而得到的。 | ||
| 搜索关键词： | 带电 粒子束 描绘 装置 电路 故障诊断 方法 | ||
【主权项】：
1.一种带电粒子束描绘装置，具备：放出部，放出带电粒子束；消隐偏转器，通过消隐电压的施加而偏转所述带电粒子束，进行束流的消隐控制；消隐电路，对所述消隐偏转器施加所述消隐电压；平台，载置被所述带电粒子束照射的基板；标记物，设于所述平台上；检测器，通过所述带电粒子束对所述标记物的照射，检测所述带电粒子束的照射位置；及诊断部，比较第1照射位置与第2照射位置的差分，在该差分为规定值以上的情况下，诊断为所述消隐电路中已发生故障，所述第1照射位置是在针对所述标记物而将所述带电粒子束设为规定的散焦状态下在第1照射条件下用所述带电粒子束扫描所述标记物的情况下由所述检测器检测而得到的，所述第2位置是在针对所述标记物而将所述带电粒子束设为规定的散焦状态下在对所述第1照射条件中照射时间及建立时间的至少某一个进行变动的第2照射条件下用所述带电粒子束扫描所述标记物的情况下由所述检测器检测而得到的。
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